-
-
微米膜厚測(cè)量?jī)x C11011-21
- 品牌:日本濱松
- 型號(hào): C11011-21
- 產(chǎn)地:亞洲 日本
- 供應(yīng)商報(bào)價(jià):面議
-
濱松光子學(xué)商貿(mào)(中國(guó))有限公司
更新時(shí)間:2025-02-24 10:56:46
-
銷(xiāo)售范圍售全國(guó)
入駐年限第10年
營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類(lèi)產(chǎn)品膜厚測(cè)量系統(tǒng)(12件)
立即掃碼咨詢(xún)
聯(lián)系方式:400-074-6866
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明在儀器網(wǎng)(www.yn180.com)上看到的!
掃 碼 分 享 -
為您推薦
產(chǎn)品特點(diǎn)
C11011-21型光學(xué)微米膜厚測(cè)量?jī)x利用激光干涉法原理,測(cè)量速度達(dá)60Hz,適用于產(chǎn)品在線(xiàn)測(cè)量。此外,選配的作圖系統(tǒng)可以用于測(cè)量指定樣品的厚度分布。C11011-01W應(yīng)用廣泛,比如用于產(chǎn)品制造過(guò)程監(jiān)控或質(zhì)量控制。
C11011-21可測(cè)玻璃膜厚范圍分別為25 μm 到2200 μm 和10 μm 到 900 μm,可測(cè)層數(shù)zui多為10層。
詳細(xì)介紹
- 詳細(xì)參數(shù)
型號(hào) C11011-21 可測(cè)膜厚范圍(玻璃) 25 μm to 2200 μm*1 光源 Infrared LD (1300 nm) 光斑尺寸 Approx. φ60 μm*4 工作距離 155 mm*4 可測(cè)層數(shù) Max. 10 layers 分析 Peak detection 測(cè)量時(shí)間 16.7 ms/point*5 外部控制功能 RS-232C, Ethernet 電源 AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz 功耗 Approx. 50 VA 接口 USB 2.0 (Main unit - Computer) 可測(cè)膜厚范圍(硅) 10 μm to 900 μm*2 測(cè)量可重復(fù)性(硅) 100 nm*3 測(cè)量準(zhǔn)確度(硅) < 500 μm: ±0.5 μm, > 500 μm: ±0.1 %*3
* 1:玻璃折射率相同。
* 2:硅折射率相同。
* 3:測(cè)量硅時(shí)為標(biāo)準(zhǔn)偏差。
* 4:可選1000毫米工作距離的型號(hào)。 (型號(hào)C11011-01WL)
* 5:最短曝光時(shí)間。產(chǎn)品特性● 利用紅外光度測(cè)定進(jìn)行非透明樣品測(cè)量
● 測(cè)量膜厚度范圍(玻璃):25μm-2200μm
● 測(cè)量速度高達(dá)60 Hz
● 可測(cè)量層數(shù):10層
● 測(cè)量帶圖紋晶圓或帶保護(hù)膜的晶圓
● 工作距離長(zhǎng)?
● Mapping功能
● 可外部控制
外形尺寸(單位:mm) 技術(shù)資料