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產(chǎn)品中心

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微米膜厚測量儀 C11011-21W

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產(chǎn)品特點(diǎn)


C11011-21W型光學(xué)微米膜厚測量儀利用激光干涉法原理,測量速度達(dá)60Hz,適用于產(chǎn)品線上在線測量。此外,與mapping工作臺(tái)聯(lián)用可以用于測量指定樣品的厚度分布。C11011-21W應(yīng)用廣泛,比如用于產(chǎn)品制造過程監(jiān)控或質(zhì)量控制。


C11011-21W可測玻璃膜厚范圍分別為25 μm 到2900 μm 和10 μm 到 1200 μm,可測層數(shù)zui多為10層。


詳細(xì)介紹

詳細(xì)參數(shù)
型號(hào) C11011-21W
可測膜厚范圍(玻璃) 25 μm to 2900 μm*1
光源 Infrared LD (1300 nm)
光斑尺寸 Approx. φ60 μm*4
工作距離 155 mm*4
可測層數(shù) Max. 10 layers
分析 Peak detection
測量時(shí)間 22.2 ms/point*5
外部控制功能 RS-232C, Ethernet
電源 AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗 Approx. 50 VA
接口 USB 2.0 (Main unit - Computer)
可測膜厚范圍(硅) 10 μm to 1200 μm*2
測量可重復(fù)性(硅) 100 nm*3
測量準(zhǔn)確度(硅) < 500 μm: ±0.5 μm, > 500 μm: ±0.1 %*3

* 1:玻璃折射率相同。

* 2:硅折射率相同。

* 3:測量硅時(shí)為標(biāo)準(zhǔn)偏差。

* 4:可選1000毫米工作距離的型號(hào)。 (型號(hào)C11011-01WL)

* 5:最短曝光時(shí)間。

產(chǎn)品特性

● 利用紅外光度測定進(jìn)行非透明樣品測量


● 測量膜厚度范圍(玻璃):25μm-2900μm


● 測量速度高達(dá)60 Hz


● 可測量層數(shù):10層


● 測量帶圖紋晶圓或帶保護(hù)膜的晶圓


● 工作距離長


● Mapping功能


● 可外部控制

外形尺寸(單位:mm)


技術(shù)資料

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