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多點納米膜厚測量儀 C11295

品牌：日本濱松
型號： C11295
產(chǎn)地：亞洲日本
供應(yīng)商報價：面議

濱松光子學(xué)商貿(mào)（中國）有限公司更新時間：2025-02-24 10:56:46

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品膜厚測量系統(tǒng)(12件)

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產(chǎn)品特點

C11295型多點納米膜厚測量系統(tǒng)使用光譜相干測量學(xué)，用以測量半導(dǎo)體制造過程中的薄膜厚度，以及安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備上的APC和薄膜的質(zhì)量控制。C11295可進行實時多點測量，也可以在膜厚測量中同時測量反射率（透射率）、目標(biāo)顏色以及暫時變化。

詳細介紹

詳細參數(shù)

型號	C11295-XX*1
可測膜厚范圍（玻璃）	20 nm to 100 μm*2
測量可重復(fù)性（玻璃）	0.02 nm3 4
測量準(zhǔn)確性（玻璃）	±0.4 %4 5
光源	Xenon light source *6
光斑尺寸	Approx. φ1 mm*4
工作距離	10 mm*4
可測層數(shù)	Max. 10 layers
分析	FFT analysis, Fitting analysis
測量時間	19 ms/point*7
光纖連接頭	SMA
外部控制功能	Ethernet
電源	AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗	At 2ch: Approx. 330 VA, at 15ch: Approx. 450 VA
測量波長范圍	320 nm to 1000 nm
接口	USB 2.0 (Main unit - Computer) RS-232C (Light source - Computer)
測量點數(shù)	?2 to 15

* 1：-XX表示測量點的數(shù)量。
* 2：轉(zhuǎn)換時玻璃的折射率= 1.5。
* 3：測量400nm厚的玻璃膜時的標(biāo)準(zhǔn)偏差（公差）。
* 4：取決于要使用的光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大倍率。
* 5：測量范圍保證在VLSI標(biāo)準(zhǔn)記錄保證范圍內(nèi)。
* 6：鹵素光源型號為C11295-XXH。
* 7：最短曝光時間。

產(chǎn)品特性

● 多達15點同時測量