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產(chǎn)品中心

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光學(xué)NanoGauge C10178-02

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產(chǎn)品特點


C10178型光學(xué)納米膜厚測量系統(tǒng)是一款利用光譜干涉法測量薄膜厚度的非接觸式測量系統(tǒng)。光譜干涉法可以快速、高精度以及高靈敏度地測量出薄膜厚度。濱松的產(chǎn)品使用多通道光譜儀PMA作為檢測器,測量各種光學(xué)濾光片和涂膜厚度的同時還可以測量量子產(chǎn)率,反射率,透射/吸收率等參數(shù)。


C10178-02支持UV(200 nm至950 nm)。


詳細(xì)介紹

詳細(xì)參數(shù)
型號 C10178-02
可測膜厚范圍(玻璃) 20 nm to 30 μm*1
測量可重復(fù)性(玻璃) 0.02 nm*2 *3
測量準(zhǔn)確性(玻璃) ±0.4 %*3 *4
光源 D2-Halogen light source
光斑尺寸 ?Approx. φ1 mm*3
工作距離 10 mm*3
可測層數(shù) Max. 10 layers
分析 FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis
測量時間 19 ms/point*5
光纖連接頭 φ12 sleeve shape
外部控制功能 RS-232C, PIPE, Ethernet
電源 AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗 Approx. 210 VA
測量波長范圍 200 nm to 950 nm
接口 USB 2.0
測量模式(特征) supports UV

*1 轉(zhuǎn)換時玻璃的折射率是1.5

*2 測量400 nm玻璃薄膜厚度時為標(biāo)準(zhǔn)偏差(公差)

*3 取決于光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大倍數(shù)

*4 測量保證范圍同VLSI標(biāo)準(zhǔn)測量保證文件一致

*5 最短曝光時間

產(chǎn)品特性

● 高速、高準(zhǔn)確性(可測膜厚范圍(玻璃):20 nm-30μm)


● 實時測量


●? 非恒定膜層的精確測量


● 分析光學(xué)常量(n, k)


● 可外部控制


● 可以使用特定附件測量量子產(chǎn)率,反射率,透射率和吸收率

外形尺寸(單位:mm)


技術(shù)資料

廠商推薦產(chǎn)品

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