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光學NanoGauge C13027-12
- 品牌：日本濱松
- 型號： C13027-12
- 產(chǎn)地：亞洲 日本
- 供應商報價：面議
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濱松光子學商貿(mào)（中國）有限公司
更新時間：2025-02-24 10:56:46 -
銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品膜厚測量系統(tǒng)(12件)
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產(chǎn)品特點
C13027型光學納米膜厚測量系統(tǒng)是一款利用光譜干涉法測量薄膜厚度的非接觸式測量系統(tǒng)。C13207不僅支持PLC連接，而且其設計尺寸比其他型號更緊湊，便于設備安裝。Optical Gauge系列不僅能夠測量10納米以下極薄薄膜的厚度，而且還具有超寬測量范圍，可以覆蓋從10納米到100微米的各種薄膜厚度。 Optical Gauge系列可以進行高達200 Hz的快速測量，因此非常適合高速生產(chǎn)線測量。
詳細介紹
- 詳細參數(shù)
型號 C13027-12 可測膜厚范圍（玻璃） 10 nm to 100 μm*1 測量可重復性（玻璃） 0.02 nm*2 *3 測量準確性（玻璃） ±0.4 %*3 *4 光源 Halogen light source 光斑尺寸 Approx. φ1 mm*3 工作距離 10 mm*3 可測層數(shù) Max. 10 layers 分析 FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis, Color analysis 測量時間 3 ms/point*5 光纖連接頭 FC 外部控制功能 RS-232C, Ethernet 電源 AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz 功耗 Approx. 80 VA 測量波長范圍 400 nm to 1100 nm
● 輸出信號
模擬輸出：0 V至10 V /高阻抗3通道（多達三層結構）
報警輸出：TTL /高阻抗1通道
警告輸出：TTL /高阻抗1通道
● 輸入信號
測量啟動信號：TTL /高阻抗1通道
*1 轉換時玻璃的折射率是1.5
*2 測量400 nm玻璃薄膜厚度時為標準偏差（公差）
*3 取決于光學系統(tǒng)或物鏡放大倍數(shù)
*4 測量保證范圍同VLSI標準測量保證文件一致
*5 最短曝光時間產(chǎn)品特性● 支持PLC連接
● 縮短循環(huán)時間（最大200 Hz）
● 可測量10nm極薄薄膜厚度
● 同時測量薄膜厚度與顏色
● 安裝所占空間大幅縮?。ㄅcC12562相比，安裝所占空間減少30%）
● 波長覆蓋范圍寬（400 nm - 1100 nm）
● 軟件中新增簡化測量法
● 可進行表面分析
● 非恒定膜層的精確測量
● 分析光學常數(shù)（n, k）
● 作圖功能
尺寸信息
技術資料
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號