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光學(xué)NanoGauge C10178-03J

品牌：日本濱松
型號： C10178-03J
產(chǎn)地：亞洲日本
供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議

濱松光子學(xué)商貿(mào)（中國）有限公司更新時(shí)間：2025-02-24 10:56:46

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品膜厚測量系統(tǒng)(12件)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

C10178型光學(xué)納米膜厚測量系統(tǒng)是一款利用光譜干涉法測量薄膜厚度的非接觸式測量系統(tǒng)。光譜干涉法可以快速、高精度以及高靈敏度地測量出薄膜厚度。C13027使用多通道光譜儀PMA作為檢測器，測量各種光學(xué)濾光片和涂膜厚度的同時(shí)還可以測量量子產(chǎn)率，反射率，透射/吸收率等參數(shù)。

C10178-03J支持NIR（900 nm至1650 nm）。

詳細(xì)介紹

詳細(xì)參數(shù)

型號	C10178-03J
可測膜厚范圍（玻璃）	150 nm to 50 μm*1
測量可重復(fù)性（玻璃）	0.05 nm2 3
測量準(zhǔn)確性（玻璃）	±0.4 %3 4
光源	Halogen light source
光斑尺寸	Approx. φ1 mm*3
工作距離	10 mm*3
可測層數(shù)	Max. 10 layers
分析	FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis
測量時(shí)間	19 ms/point*5
光纖連接頭	φ12 sleeve shape
外部控制功能	RS-232C, PIPE, Ethernet
電源	AC100 V to AC120 V , 50 Hz/60 Hz
功耗	Approx. 230 VA
測量波長范圍	900 nm to 1650 nm
測量模式（特征）	supports NIR

*1 轉(zhuǎn)換時(shí)玻璃的折射率是1.5

*2 測量400 nm玻璃薄膜厚度時(shí)為標(biāo)準(zhǔn)偏差（公差）

*3 取決于光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大倍數(shù)

*4 測量保證范圍同VLSI標(biāo)準(zhǔn)測量保證文件一致

*5 最短曝光時(shí)間

產(chǎn)品特性

● 高速、高準(zhǔn)確性（可測膜厚范圍（玻璃）：150 nm-50μm）

● 實(shí)時(shí)測量

● 非恒定膜層的精確測量

● 分析光學(xué)常量(n, k)

● 可外部控制

● 可以使用特定附件測量量子產(chǎn)率，反射率，透射率和吸收率

外形尺寸（單位：mm）