產(chǎn)品簡(jiǎn)介

UNIXX SB20/30 半自動(dòng)旋涂處理模塊提供出色的涂層均勻性和可重復(fù)性，特別是對(duì)于厚涂層和具有高形貌的負(fù)涂層。

UNIXX SB20/30 支持最大 ?200 (?300) mm 的晶圓，并可配置用于旋涂、基本清潔和干燥。 通過注射器分配、光刻膠泵或加熱介質(zhì)管線等多種選項(xiàng)，這些模塊可以為我們的客戶提供個(gè)性化配置。加工區(qū)域易于清潔，并且可以抵抗最常用的化學(xué)品。

 產(chǎn)品特色

開碗式優(yōu)點(diǎn):

÷ 標(biāo)準(zhǔn)涂層

÷ 圓形晶圓最大可達(dá) ?200 (?300) mm

÷ 方形襯底最大可達(dá) 150 x 150 (230 x 230) mm

÷ 適用于極薄和薄的光刻膠、SOG、Polymer 和 BCB 凸塊材料

÷ 易于清潔和維護(hù)

÷ 降低投資成本

兩個(gè)系統(tǒng)模塊的一般屬性:

÷ 手動(dòng)裝卸

÷ 用于硅晶圓、玻璃晶圓、陶瓷晶圓和復(fù)合材料

÷ 1x 點(diǎn)膠臂，最多 6 條介質(zhì)線

÷ 不同類型的噴嘴

÷ 直驅(qū)無刷旋轉(zhuǎn)電機(jī)

÷ 帶防濺環(huán)的可更換工藝碗

÷ 真空或低接觸卡盤或邊緣夾持卡盤

÷ 設(shè)備上或通過控制單元的啟停按鈕

÷ 系統(tǒng)正面的緊急停止按鈕

÷ 軟件提供用戶友好的操作和多用戶界面

技術(shù)數(shù)據(jù)

通用

襯底尺寸: 最大可達(dá) ?200 mm (?8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

最大可達(dá) ?300 mm (?12 inch) 或 230 x 230 mm (9 x 9 inch)

電機(jī)轉(zhuǎn)速: 最大 10.000 轉(zhuǎn)*，以 1 轉(zhuǎn) 步進(jìn)可編程

電機(jī)加速: 最大 40.000 rpm/sec*，以 1 rpm/sec 為步長

步進(jìn)時(shí)間: 1 到 999.9 秒, 以 0.1 秒為步長

系統(tǒng)架構(gòu): 由粉末涂層不銹鋼制成，4 個(gè)可調(diào)節(jié)支腳和運(yùn)輸輪

系統(tǒng)外殼: 由粉末涂層不銹鋼制成

工藝碗: 由天然 PP 制成

工藝蓋: 帶安全中斷傳感器的透明塑料蓋

*取決于卡盤設(shè)計(jì)、襯底重量和負(fù)載

要求

電源: 400(208) VAC / 3 相 / N / PE / 50(60) Hz

真空: -0.8 巴 （-80KPa）, 管 OD ?8 mm

CDA: 8 巴（800KPa）, 管 OD ?10 mm

氮: 4.5 巴（450KPa）, 管 OD ?10 mm

排氣過程: OD ?110 mm, 50 - 120m3/h*

排氣容器: OD ?110 mm, 50 - 200m3/h*

排水: 到帶有高液位傳感器的廢物罐或到設(shè)施排水管

尺寸 (寬X深X高) 

單底架: 650 x 650/875 x 960/1.130 mm (25.6 x 25.6/34.5 x 37.8/44.5 inch)

打開蓋子的高度: 1.525 mm (60 inch)