在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使膠液均勻涂覆在基片上，旋轉(zhuǎn)速度及時間、膠液和基片間的粘滯系數(shù)都會影響成膜厚度，旋轉(zhuǎn)過程及轉(zhuǎn)動系統(tǒng)的穩(wěn)定性對成膜質(zhì)量也有較大影響。

※ 樣品尺寸：φ3~300mm

※ 加速度：80000rpm/s（空載），30000rpm/s（負載：100mm標準晶圓）

※ 轉(zhuǎn)速：1~12000rpm，伺服電機分辨率4000P/rev

※ 旋轉(zhuǎn)方向：選配Hz型馬達，旋轉(zhuǎn)方向雙向可調(diào)

※ CDA/N2氣流保護技術(shù)

※ 可選自動滴膠模塊，EBR晶圓去邊模塊

※ 多種托盤可選，適用各種材質(zhì)的樣品

托盤解決方案

﹢  常用真空托盤：10~150mm無需更換

﹢  嵌入式：托盤中部做成圓形凹槽，樣品可嵌入其中，以避免樣品厚度過大引起氣體渦流效應(yīng)

﹢  蜂窩式：適用于超薄易變形軟質(zhì)材料和易碎材料

﹢  卡式托盤：適用于無法真空吸附的樣品，或者兩面都需要處理的樣品，因為固定時需要盡量減小與托盤的接觸面積，也可以使用卡式托盤，卡式托盤使用時轉(zhuǎn)速不宜過高