產(chǎn)品簡介

UNIXX DB20/30 顯影儀模塊專為使用水坑式、噴霧式和超音速和霧化噴嘴開發(fā)、清潔和干燥工藝而設(shè)計。UNIXX DB20/30 支持最大 300 mm 的圓形晶圓或230 x 230 mm 的方形子狀態(tài)。 配備多達 6 個水坑噴嘴或各種噴嘴的介質(zhì)臂可提供出色的顯影處理。 該設(shè)備具有易于操作的用戶界面，具有所有需要的功能，例如配方編程、服務(wù)通信和用戶管理。所有必要的介質(zhì)供應(yīng)，如 CDA、N2、真空和去離子水都可以通過快速插入式連接連接并由軟件控制。

產(chǎn)品特色

標(biāo)準(zhǔn)防濺環(huán)的優(yōu)點:

÷ 標(biāo)準(zhǔn)顯影、清洗、干燥處理

÷ 適用于小件

÷ 圓形晶圓最大可達 ?200 (?300) mm

÷ 方形襯底最大可達 150 x 150 (230 x 230) mm

÷ 三件式工藝碗或單向碗

÷ 固定高度的飛濺環(huán)

÷ 真空或低接觸夾頭，碗中帶有 BSR 噴嘴

÷ 帶安全中斷傳感器的透明塑料蓋

÷ 降低投資成

所有類型顯影儀的特性:

÷ 手動裝/卸

÷ 圓形晶圓方形襯底或小片夾頭

÷ 用于硅襯底、玻璃襯底、陶瓷襯底

÷ 1x 點膠臂，最多 6 條介質(zhì)線

÷ 不同類型的噴嘴

÷ 壓力罐或泵系統(tǒng)提供介質(zhì)

÷ 具有擺動效果的旋涂儀電機

÷ 用于不同介質(zhì)排放分離（1、2 或 3 向分離）的工藝碗

÷ 設(shè)備上或通過控制單元的啟停按鈕

÷ 系統(tǒng)正面的緊急停止按鈕

÷ 軟件提供用戶友好的操作和多用戶界面

÷ 系統(tǒng)設(shè)計可作為臺式安裝模塊或獨立系統(tǒng)

技術(shù)數(shù)據(jù)

通用

襯底尺寸: 最大可達 ?200 mm (?8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

最大可達 ?300 mm (?12 inch) 或 230 x 230 mm (9 x 9 inch)

電機轉(zhuǎn)速: 最大 10.000 轉(zhuǎn)*，以 1 轉(zhuǎn) 為步長編程

電機加速: 最大 40.000 rpm/sec*，以 1 rpm/sec 為步長

步進時間: 1 到 999.9 秒，以 0.1 秒為步長

系統(tǒng)框架: 由粉末涂層不銹鋼制成，4 個可調(diào)節(jié)支腳和運輸輪

系統(tǒng)外殼: 由粉末涂層不銹鋼制成

工藝碗: 由天然 PP 制成

工藝蓋: 透明塑料蓋

*取決于卡盤設(shè)計、襯底重量和負(fù)載

要求

電源: 400(208) VAC / 3 Phase / N / PE / 50(60) Hz

真空: -0.8 bar, tube OD ?8 mm

CDA: 8 bar, tube OD ?10 mm

氮: 4.5 bar, tube OD ?10 mm

去離子水: 2-3 bar, OD ?16.7 mm (3/8”)

排氣過程: 1x OD ?110 mm, 50 - 120m3/h

排氣容器: 2x OD ?110 mm, 50 - 180m3/h

排水: 到帶有高液位傳感器的廢物罐或到設(shè)施排水管