產品簡介

BASIXX ST20 +是一個臺式安裝、旋涂、清洗、顯影和干燥的半自動系統(tǒng)，旨在為科學和研究用戶提供高效、安全和清潔的實驗室系統(tǒng)。該設備具有易于使用的7 英寸彩色觸摸屏界面。該軟件包含配方管理，如編寫、編輯、保存和加載。服務區(qū)域提供手臂和轉盤以及介質控制的設置選項。還匯集了軟件更新功能以及可以通過 U盤保存的日志文件和備份功能。在該旋涂系統(tǒng)的設計和結構中，非常重視速度和用戶友好性。

產品特色

÷ 作為桌面版本的緊湊型設計

÷ 手動裝載/卸載

÷ 襯底最大可達 ?200 mm (?8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

÷ 軟件提供用戶友好的操作

÷ 直驅旋涂電機

÷ 全軸電機驅動且完全可編程

÷ 帶安全中斷傳感器透明蓋

÷ 外殼上有電源開關 ON / OFF

÷ 可視化真空控制計

÷ 可更換并易于拆卸的工藝碗和防濺環(huán)，方便清潔。

÷ 系統(tǒng)材料可抵抗所有類型的抗蝕劑和溶劑以及各種清潔介質。 (PP-聚丙烯)

÷ 包含 0.5 升廢液瓶

÷ 準備點膠臂和多種其他選擇

技術數據

通用

襯底尺寸: 最大可達 ?200 mm (?8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

電機轉速: 最大 10.000 轉數, 以 1 轉 步進*

電機加速: 最大 4.000 轉/秒*

步進時間: 1 至 999.9 秒，步長為 0.1 秒

加工碗: 由 PP 天然制成

系統(tǒng)架構: 由 PP 白色制成

*取決于卡盤設計、襯底重量和負載

(+) 點膠線 / 可編程輸出

3條介質線 : 2 x 24 V / 最大 1 Amp (每條) / 觸發(fā)點 0.1 秒 - ∞

5條介質線: 6 x 24 V / 最大 1 Amp (每條) / 觸發(fā)點 0.1 秒 - ∞

要求

電源: 230 (110) VAC / 1 相 / N / PE / 50(60) Hz

真空: -0.8 巴（-80KPa）/ -600 托爾, 管 OD ?6 mm

排氣過程: 2 x OD ?38 mm, 大約 30m3/h

氮 (可選): 4 ± 0.2 巴（400±20KPa）, PFA 管 OD ?6 mm**

CDA (可選): 8 ± 2 巴（800±200KPa, 管 OD ?8 mm**

**直徑取決于配置

尺寸 (寬X深X高) 

桌面式系統(tǒng): 450 x 510/650 x 430 mm, (17.7 x 20.1/25.6 x 16.9 inch)

高度（蓋子打開）: 760 mm (29.9 inch)