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全自動原子層沉積系統(tǒng)(ALD)
- 品牌：維易科
- 型號： Firebird
- 產(chǎn)地：美洲 美國
- 供應(yīng)商報價：面議
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香港電子器材有限公司
更新時間：2025-04-24 09:14:23 -
銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品原子層沉積系統(tǒng)(4件)
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產(chǎn)品特點
- Veeco(之前稱之為Cambridge Nanotech)已經(jīng)有15年以上的ALD研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗。2003年Cambridge Nanotech成立于哈佛大學(xué)，05年搬到Boston并生產(chǎn)出Thermal ALD - Savannah, 之后生產(chǎn)出Plasam ALD - Fuji、批量生產(chǎn)ALD-Phoenix。2017年被Veeco收購，并更新了Batch HVM ALD - Firebird。至今為止，Veeco在ALD設(shè)備已有15年多的經(jīng)驗，全球已安裝五百多臺ALD設(shè)備。
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品介紹：
Veeco(之前稱之為Cambridge Nanotech)已經(jīng)有15年以上的ALD研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗。2003年Cambridge Nanotech成立于哈佛大學(xué)，05年搬到Boston并生產(chǎn)出Thermal ALD - Savannah, 之后生產(chǎn)出Plasam ALD - Fuji、批量生產(chǎn)ALD-Phoenix。2017年被Veeco收購，并更新了Batch HVM ALD - Firebird。至今為止，Veeco在ALD設(shè)備已有15年多的經(jīng)驗，全 球已安裝五百多臺ALD設(shè)備。
Firebird Batch Thermal ALD System
方式: Thermal batch ALD
優(yōu)勢:完全自動化的批量生產(chǎn)系統(tǒng)，**生產(chǎn)能力（每月zui多40000片），zuidi的成本，zui高的產(chǎn)量，極優(yōu)的一致性針對脆弱/溫度敏感的襯底解決方案，包括LNO/LTO/玻璃模塊化熱管理，以實現(xiàn)**工藝靈活性和產(chǎn)量
薄膜: 氧化物薄膜，包含封裝層、光學(xué)涂層氧化物薄膜，包含封裝層、光學(xué)涂層
反應(yīng)腔體大小: 無縫晶片尺寸轉(zhuǎn)換能力高達(dá)300mm
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滬公網(wǎng)安備 31011502008050號