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美Sonix超聲波掃描顯微鏡 ECHO LS

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產(chǎn)品特點(diǎn)

美Sonix超聲波掃描顯微鏡 ECHO LS,可檢測Z小 0.05 微米的缺陷,它是一款極好的檢測 bump, 堆疊芯片(三維封裝),復(fù)雜 flipchip 和傳統(tǒng)塑封封裝的工具.

詳細(xì)介紹


美Sonix超聲波掃描顯微鏡 

型號(hào):ECHO LS

 

Sonix 非破壞超聲波掃描是一款提高生產(chǎn)、簡化測試、改進(jìn)生產(chǎn)率和提高產(chǎn)能的生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。無論是失效分析實(shí)驗(yàn)室的詳細(xì)分析還是生產(chǎn)線檢測,Sonix 都能提供一個(gè)易于操作的軟件解決方案。

﹡WinIC Lab (詳細(xì)失效分析工具)

﹡WinIC Production (易于操作的、新型的生產(chǎn)工具,專門用于生產(chǎn)的大量分析)

 

Sonix ECHO LS 可檢測最小 0.05 微米的缺陷,它是一款極好的檢測 bump, 堆疊芯片(三維封裝),復(fù)雜 flipchip 和傳統(tǒng)塑封封裝的工具.

 

使用 ECHO LS 生產(chǎn)軟件改進(jìn)生產(chǎn)產(chǎn)能和提高生產(chǎn)率:

。很容易設(shè)定和使用

。監(jiān)測生產(chǎn)質(zhì)量

。通過/失效存儲(chǔ)

。簽定零件

 

 

 

Sonix 探頭的頻率范圍從 10MHz 到 MHz,為能適用于所有類型的應(yīng)用和材料設(shè)計(jì)

 

其它主要特性

。節(jié)省潔凈室空間

。整體焊接結(jié)構(gòu)(改進(jìn)平臺(tái)的穩(wěn)定性)

。輕便(移動(dòng)方便)

??蛇x反射與透射同時(shí)進(jìn)行(快速偵測缺陷)

。減低高度,節(jié)省成本

。大面積的掃描區(qū)域(可放多個(gè) tray盤或大樣品)

。傾斜缸底(為能徹底排水)

。Z 軸探頭移動(dòng)(替代 tray 架子移動(dòng))

??沙槌鍪郊茏樱蓴[放夾具和樣品)

。設(shè)計(jì)緊湊(可節(jié)省維護(hù)成本)

。符合 CE, SEMI S2, NRTL

。在安全蓋、槽及門上有靜電涂層

 

規(guī)格:

 

X 軸

定位裝置:線性伺服馬達(dá),線性伺服馬達(dá)

精度高,無磨損,無需定期做保養(yǎng)校正

最 大掃描速度:1000mm/秒

馬達(dá)精度:+/- 0.5 微米

線性光柵尺精度:0.5 微米

最 大掃描面積:350mm

 

Y 軸

 

定位裝置:步進(jìn)馬達(dá)

精度: 0.25 微米

最 大行程: 350mm

 

 

Z 軸

定位裝置:步進(jìn)馬達(dá)

精度 :0.25 微米

最 大行程: 50mm

 

 

夾具

托盤夾具,掃描平臺(tái)以拖住整個(gè) tray 掃描

 

 

機(jī)身尺寸和重量

·31 inches X 31 inches X 48 inches

·or 76.66 cm X 76.66 cm X 121.92 cm

·360lbs. or 163.5kg

 

 

過濾系統(tǒng)

·循環(huán)泵和 5 微米過濾器,有自動(dòng)水循環(huán)系統(tǒng),可把水中的雜質(zhì)過濾,大大減少雜質(zhì)對(duì)掃描結(jié)果的影響

 

 

超聲波工具

·DPR500 接接器,帶 L2/H4 放大器

·可選 U4 放大器

 

顯示器 . 雙顯示器

 

樣品槽:590mm×550mm×120mm

超聲波掃描頻率:1MHz~500MHz

傳感器頻率選擇:5MHz~300MHz

對(duì)于塑封器件,最 高用到75MHz,再高頻率無法穿透塑封料

脈沖發(fā)生器前級(jí)放大器:Pluse2

 

 

WinIC 軟件

 

-TAMI:一次掃描可同時(shí)獲得最多 100 張 C 超掃描圖像,在需要時(shí),可自動(dòng)調(diào)節(jié)焦距,可看到 IC 所有的分界面,無需重掃,所有的分界面成像比操作者解釋波形更直觀

-ICEBERG

-WinIC Pro (增國功能和分析)

-WinIC Offline (允許在手提電腦上分做分析)

-Waveform Simulator/Beam Emulator (容易設(shè)置)


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