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多維度光學(xué)耦合臺/撓性平移臺-NXP系列

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產(chǎn)品特點(diǎn)

NXP系列多維度光學(xué)耦合臺包含六軸耦合臺和三軸耦合臺,可用于其他產(chǎn)品的手動驅(qū)動和電動驅(qū)動。它適用于光纖、波導(dǎo)、光電封裝和任何高分辨率對準(zhǔn)或定位應(yīng)用,包括通用實(shí)驗(yàn)室任務(wù)。創(chuàng)新的柔性設(shè)計與模塊化驅(qū)動系統(tǒng)相

詳細(xì)介紹

NXP 系列多維度光學(xué)耦合臺產(chǎn)品概述

說明:

NXP 系列多維度光學(xué)耦合臺包含六軸耦合臺和三軸耦合臺,以及可用于其他產(chǎn)品的手動驅(qū)動和電動驅(qū)動。它適用于光纖、波導(dǎo)、光電封裝和任何其他高分辨率對準(zhǔn)或定位應(yīng)用,包括通用實(shí)驗(yàn)室任務(wù)。創(chuàng)新的柔性設(shè)計與模塊化驅(qū)動系統(tǒng)相結(jié)合,提供了卓越的性能和靈活性。

NXP 系列六軸耦合臺的位移臺在移動平臺前都有不銹鋼探針,標(biāo)記所有旋轉(zhuǎn)軸的公共支點(diǎn),所有旋轉(zhuǎn)軸都具有公共支點(diǎn),可以減少系統(tǒng)的對準(zhǔn)時間。

NXP 系列多維度光學(xué)耦合臺產(chǎn)品內(nèi)部沒有導(dǎo)軌軸承,平行撓性設(shè)計確?;_連續(xù)的運(yùn)動和長期的穩(wěn)定性,非常適用于亞微米級分辨率的應(yīng)用。對于納米定位應(yīng)用,提供內(nèi)置壓電驅(qū)動器的版本。這種結(jié)構(gòu)相對于滑臺組維的方式,穩(wěn)定性有極大的提高,在溫度較為恒定的條件下,產(chǎn)品適用于光纖對準(zhǔn)等需要保持靜態(tài)粘接的應(yīng)用中。

NXP 系列多維度光學(xué)耦合臺可進(jìn)行手動驅(qū)動 / 電動驅(qū)動快換,可滿足空間中不同維度使用混裝驅(qū)動器。

命名規(guī)則

0.png

NXP多維度光學(xué)耦合臺選型表

注:表格為NXP系列產(chǎn)品型號匯總,其中紅色標(biāo)注型號為研發(fā)中產(chǎn)品

六軸高精度耦合臺

型號

NXP-6M

NXP-6P

NXP-6NP

行程

X 、Y 、Z直線行程為4 mm。Rx、 Ry、 Rz(擺動、俯仰和偏轉(zhuǎn))行程為4 。(70mrad)

傳動比

X軸和Y軸傳動比為1: 1.5,驅(qū)動器每平移1 mm,位移臺將平移1.5 mm;Z軸的傳動比為1:1;三個旋轉(zhuǎn)軸驅(qū)動每平移 1μm,旋轉(zhuǎn)17μrad

分辨率

見驅(qū)動

旋轉(zhuǎn)中心

公共旋轉(zhuǎn)中心;最大串?dāng)_100 µm

 

壓電

規(guī)格

 

開環(huán)壓電

閉環(huán)壓電

行程

19µm

分辨率

X 、Y 、Z 1nm / Rx、 Ry、 Rz 0.018 µrad

最大負(fù)載

1kg

共振頻率

>130 Hz(±10%)

熱穩(wěn)定性

1μm/℃

三軸高精度耦合臺

型號

NXP-3M

NXP-3P

NXP-3NP

行程

4 mm

傳動比

1:1

分辨率

見驅(qū)動

串?dāng)_

100um

頂板平行度

<100µm

 

壓電

規(guī)格

開環(huán)壓電

閉環(huán)壓電

行程

19µm

分辨率

X 、Y 、Z 1nm / Rx、 Ry、 Rz 0.018 µrad

最大負(fù)載

1kg

共振頻率

>130 Hz(±10%)

熱穩(wěn)定性

1μm/℃

驅(qū)動

型號

DNXP-M

DNXP-A

驅(qū)動類型

手動

電動

行程

13mm

與NXP系列設(shè)備配合使用后行程4mm

8mm

與NXP系列設(shè)備配合使用后行程4mm

分辨率

粗調(diào)10 µm,微調(diào)0.5 µm

1.25 µm

電機(jī)

28步進(jìn)電機(jī),步距角1.8。

限位

內(nèi)置限位開關(guān)

定位精度

雙向重復(fù)性為5.0 µm

NXP多維度光學(xué)耦合臺尺寸圖

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