分享 收藏

超精密氣浮滑臺QF系列

品牌：卓立漢光
型號： QF系列
產(chǎn)地：北京通州區(qū)
供應(yīng)商報(bào)價(jià)：￥200000

北京卓立漢光儀器有限公司更新時(shí)間：2025-04-29 11:16:42

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品電動(dòng)位移臺(8件)

立即掃碼咨詢

聯(lián)系方式：138-10146393

聯(lián)系我們時(shí)請說明在儀器網(wǎng)（www.yn180.com）上看到的!

掃碼分享

為您推薦

產(chǎn)品特點(diǎn)

QF 系列滑臺是采用的靜壓氣浮導(dǎo)軌作為保持機(jī)構(gòu)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的直線滑臺。具有高穩(wěn)定度、高分辨率，精密位移，大負(fù)載的功能。采用氣浮導(dǎo)軌為保持機(jī)構(gòu)，工作過程沒有摩擦，無灰塵產(chǎn)生，沒有爬行現(xiàn)象。產(chǎn)品尺寸較

詳細(xì)介紹

QF系列氣浮導(dǎo)軌滑臺產(chǎn)品概述

說明：

QF系列是采用的靜壓氣浮導(dǎo)軌作為保持機(jī)構(gòu)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的直線滑臺。該系列滑臺具有高穩(wěn)定度、高分辨率，精密位移，大負(fù)載的功能。采用氣浮導(dǎo)軌為保持機(jī)構(gòu)，工作過程沒有摩擦，無灰塵產(chǎn)生，沒有爬行現(xiàn)象。直線電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，齒槽小，分辨率高，輕松實(shí)現(xiàn)亞微米級定位需求。產(chǎn)品尺寸較多，可以根據(jù)需要靈活選擇，QF 系列產(chǎn)品適合用于半導(dǎo)體行業(yè)或其他對于精密位移亞微米級調(diào)整有需求的客戶。臺面多種標(biāo)準(zhǔn)孔位的安裝孔適合不同需要，下方標(biāo)準(zhǔn)固定孔方便將其與其他滑臺連接，組成多維移動(dòng)臺。

特點(diǎn)：

· 采用氣浮靜壓導(dǎo)軌，運(yùn)動(dòng)無爬行，直線度好，負(fù)載可控制，穩(wěn)定性好；

· 采用直線電機(jī)，微步能力好，驅(qū)動(dòng)力可控，速度穩(wěn)定；

QF系列氣浮導(dǎo)軌滑臺命名規(guī)則：

QF 25-300 S-BNA

QF 系列代碼：

QF:單軸空氣軸承類滑臺 QFD:XY組合空氣軸承類滑臺

QFH:龍門組合空氣軸承類滑臺

25 臺面寬度：

25:250mm 30:300mm

300 有效行程：

100:100mm 200:200mm

300:300mm

S 基座材質(zhì)：

A:鋁合金

S:大理石

C:碳化硅

B 分辨率：

1:0.1 μm S:50nm

B:20nm

N 電機(jī)類型：

N:無鐵芯

M:有鐵芯

A 臺面材質(zhì)：

A:鋁合金

T:其它

以上命名規(guī)則除技術(shù)規(guī)格列表內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，其余配置請聯(lián)系銷售進(jìn)行定制。

QF系列氣浮導(dǎo)軌滑臺選項(xiàng)表

型號	QF25-100A-BNA	QF25-200A-BNA	QF25-300A-BNA	QF25-400A-BNA
臺面尺寸(mm)	245x200(運(yùn)動(dòng)方向)
厚度(mm)	120
移動(dòng)量(mm)	100	200	300	400
光柵尺分辨率(nm)	20
驅(qū)動(dòng)方式	無鐵芯直線電機(jī)
導(dǎo)軌	一體式靜壓導(dǎo)軌
雙向重復(fù)精度(μm)	0.4
無*正定位精度(μm)	1.2
直線度(μm)	2	2.5	3	3
俯仰(arcsec)	4.5
偏擺(arcsec)	2.1
主體材料及表面處理	鋁合金，黑色硬質(zhì)陽極氧化處理
中心負(fù)載(Kg)	10/μm

型號	QF25-400S-BNA	QF25-500S-BNA	QF25-600S-BNA	QF25-800S-BNA
臺面尺寸(mm)	290x200(運(yùn)動(dòng)方向)
厚度(mm)	189
移動(dòng)量(mm)	400	500	600	800
光柵尺分辨率(nm)	20
驅(qū)動(dòng)方式	無鐵芯直線電機(jī)
導(dǎo)軌	氣浮腳式靜壓導(dǎo)軌
雙向重復(fù)精度(um)	0.3
無*正定位精度(μm)	1.2
直線度(μm)	2	3	5	5
俯仰(arcsec)	2
偏擺(arcsec)	2
主體材料及表面處理	大理石，鋁合金
中心負(fù)載(Kg)	15/um

說明：

1.以上測試數(shù)據(jù)在使用TMC-NET-2L 控制系統(tǒng)下，采用GB/T17421.2 雙軸線擬合下，采用等級為VC-C 環(huán)境下隔振系統(tǒng)所測試；

2.測試用氣體0.5MPa 壓縮空氣，做過濾和除水工藝；

3.測試環(huán)境介于萬級~十萬級潔凈空間內(nèi)；

4.測試溫度20±1℃,濕度40~60%。

特點(diǎn)和選型指導(dǎo)

項(xiàng)目	xxxA	xxxS	xxxC
材質(zhì)	鋁合金	大理石	碳化硅陶瓷
導(dǎo)軌長度(mm)	200~800	400~3000	400~2000
外形尺寸(mm)	超小~中	中~超大	小、中、大
制作方式	機(jī)加工	磨削	燒制
重復(fù)精度(μm)	0.3	0.3	0.25
直線度(μm)	1~3	2~5	2~3
組合形式	X, XY(小)	X、XY、龍門	X、XY、龍門
造價(jià)(元)	1~10	5~100	50~1000