HERA-DLTS

高能分辨率深能級(jí)瞬態(tài)譜（DLTS）

我們在1990年推出了第一臺(tái)數(shù)字DLTS，隨著電腦技術(shù)的發(fā)展，使得在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行復(fù)雜計(jì)算成為可能。在純指數(shù)發(fā)射過程模型的基礎(chǔ)上，用各種數(shù)學(xué)模型分析測量到的瞬態(tài)過程，如傅里葉轉(zhuǎn)換、拉普拉斯轉(zhuǎn)換、多指數(shù)瞬態(tài)擬合、ITS（等溫瞬態(tài)光譜）信號(hào)重疊法、溫度掃描信號(hào)重疊法（重折疊）。與其他系統(tǒng)相比，HERA-DLTS具有無法比擬的能量分辨率。

特點(diǎn)
l 自動(dòng)接觸檢查
l 常規(guī)測試和加強(qiáng)軟件
l 自動(dòng)電容補(bǔ)償
l 三終端FET電流瞬態(tài)測量
l 大電容和濃度范圍
l 靈活性高、模塊化硬件
l 支持各種冷卻倉和溫度控制器
l 傅里葉轉(zhuǎn)換（F-DLTS），比例窗口和用戶自定義校正功能
l DLTFS（深層瞬態(tài)傅里葉光譜儀）評(píng)價(jià)

操作模式
l C-DLTS(電容模式)
l CC-DLTS(定電容模式)
l I-DLTS（電流模式）
l DD-DLTS（雙關(guān)聯(lián)模式）
l Zerbst-DLTS
l O-DLTS（光激發(fā)模式）
l FET-Analysis
l MOS-Analysis
l ITS（等溫瞬態(tài)光譜儀）
l 缺陷分析
l 俘獲截面測量
l I/V, I/V(T) 查理森Plot分析
l C/V, C/V(T)
l TSC/TSCAP
l PITS（光子誘導(dǎo)瞬態(tài)譜）
l DLOS(特殊系統(tǒng))