產(chǎn)品概述

YES-VertaCure由世界上最大的公司選擇，是經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證的平臺(tái)，可容納200mm/300mm晶片，并在集成的1類微型環(huán)境中自動(dòng)處理多達(dá)兩個(gè)處理模塊。

真空固化的優(yōu)勢(shì)

?3.5小時(shí)與8小時(shí)以上的大氣壓相比
?層流減少/消除了顆粒
?更徹底的固化（排氣量減少5倍）
?減少膜應(yīng)力，降低晶片翹曲
?功耗和N2消耗減少1.6到2倍
?大大降低了資本成本，降低了2-3倍的運(yùn)營(yíng)成
本VertaCure 1PM和2PM系統(tǒng)分別容納50和100個(gè)晶片。

技術(shù)參數(shù)

環(huán)境清潔度：100級(jí)
EFEM清潔度：100級(jí)
最高溫度：<450°C
WiW溫度均勻性：駐留溫度在250°C以下+/- 1.5°C和在250°C以上+/- 2.5°C（兩種情況的穩(wěn)
定時(shí)間均小于15分鐘。）
升溫速率：150至450°CZD8.0°C / min
下降速度：從450至150°CZD3.2°C / min正常運(yùn)行時(shí)間≥98％
MTTR：≤4小時(shí)
MTBF：≥500小時(shí)
翹曲：≤3mm一側(cè)
晶圓破損：最大破損率<50 ppm
晶圓尺寸：□300 mm，□200 mm，□150 mm，□100 mm（8英寸晶圓厚度@ 450-900um，12英寸晶
圓厚度@ 760um）
裝載端口數(shù)量：□2，□4，□其他用于200mm / 300mm FOUP的開(kāi)放式卡匣適配器
工藝氣體類型：氮?dú)?預(yù)熱
MFC：1 N2校準(zhǔn)MFC
最大流量：50 SLM
泵：由客戶提供（推薦與Ebara EV-A06 21 CFM相同或等同）
清潔排氣：室內(nèi)冷卻空氣與環(huán)境空氣混合（將排氣溫度降低到安全暴露極限以下。僅排熱；排氣
中不存在工藝氣體或流出物。 最高流量為2000 SCFM，排氣溫度≤40°C）
泵排氣：洗滌器–最大流量21 CFM
ESD SEMI：符合S2和S8
腔室：不銹鋼腔室SUS 316L
處理模塊：1個(gè)50個(gè)晶圓（用于VertaCure 1PM）； 2個(gè)100晶圓（對(duì)于VertaCure 2PM）
O2監(jiān)測(cè)器的O2濃度：在過(guò)程開(kāi)始后20分鐘內(nèi)<10 ppm（連續(xù)監(jiān)測(cè)過(guò)程室真空排氣中的氧濃度以驗(yàn)證
氧氣性能。 O2值將保存到過(guò)程日志中，也可以通過(guò)SECS/GEM界面進(jìn)行訪問(wèn)。）
通訊標(biāo)準(zhǔn)：SECS（HSMS-SS）
GUI：圖形用戶界面，帶觸摸屏串行RS-232C，并行I/O
Windows：Windows 8.1+
保修：驗(yàn)收后12個(gè)月，僅限非消耗品