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英國SPTS 蒸發(fā)HF刻蝕 SPTS UEtch
- 品牌：英國SPTS
- 型號： SPTS UEtch
- 產(chǎn)地：歐洲 英國
- 供應(yīng)商報價：面議
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香港壘為信息科技實業(yè)有限公司
更新時間：2020-10-26 11:04:52 -
銷售范圍售全國
入駐年限第6年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品刻蝕機(4件)
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產(chǎn)品特點
- 通過無水乙醇的催化作用，HF氣體與SiO2反應(yīng)生成可揮發(fā)的產(chǎn)物SiF4和氣態(tài)H2O，并通過真空排風(fēng)抽走。整個反應(yīng)過程不生成液態(tài)水，避免了液體對懸空微納結(jié)構(gòu)的粘連，從而可以成功釋放懸空的微納米結(jié)構(gòu)。主要用于懸臂梁及其他懸空微納米結(jié)構(gòu)和SiO2犧牲層的釋放刻蝕。
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滬公網(wǎng)安備 31011502008050號