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芯片晶圓納米清洗 - 納米雪花清洗機(jī)無水印清洗方案

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產(chǎn)品特點(diǎn)

?微納米級別的異物顆粒物去除
?微納米顆粒干冰,對物件損傷小
?可控輔助氣溫度,物件表面不結(jié)露
?無廢水、廢液產(chǎn)生
?無需額外干燥處理工序,低功耗
?適用復(fù)雜的外觀形狀清洗
?干冰顆粒直徑:0.5-1000微米可調(diào)

詳細(xì)介紹

以顆粒狀的干冰作為清洗介質(zhì),通過壓縮空氣將干冰微粒高速噴向清洗物表面,使清洗物表面的污垢冷凍至脆化并爆裂,干冰微粒通過撞擊作用滲透到污垢及基層材料之間,隨即升華,體積瞬時(shí)增大800倍,迫使污垢與基層材料脫離,達(dá)到清洗的目的。

清洗原理示意圖

針對芯片封裝用玻璃載板清洗


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