軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發(fā)的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機(jī)，實(shí)現(xiàn)了極高的能量分辨率。
和EDS一樣可以并行檢測，并且能以0.3eV(費(fèi)米邊處Al-L基準(zhǔn))的極高能量分辨率進(jìn)行分析，超過了WDS的能量分辨率。

系統(tǒng)簡介

zuixin開發(fā)設(shè)計(jì)的分光系統(tǒng)，不需移動衍射光柵或檢測器（CCD）就能同時(shí)獲取不同能量的譜圖。而且由于能量分辨率很高，還可以采集狀態(tài)分析分佈圖

SXES、WDS、EDS的比較

各種分光方法中氮化鈦樣品的譜圖

即使在WDS分析中氮化鈦的譜峰也發(fā)生重疊，需要采取去卷積的數(shù)學(xué)方法處理。如下圖所示，SXES具有很高的能量分辨率。

比較表

鋰離子二次電池（LIB）分析實(shí)例

能觀察到LIB的充電量

充滿電后Li-K樣品的譜圖

說明: 由于理論上的原因，氧化鋰的檢測很困難
 

輕元素的測試實(shí)例

SXES測試碳素化合物的實(shí)例

可以測試金剛石、石墨、聚合物的不同。

各種氮素化合物的測試實(shí)例

氮素也可以根據(jù)波形分析化學(xué)結(jié)合狀態(tài)。 硝酸鹽和氮化物的波形完全不同，還能觀察到易受電子束損傷的銨鹽的獨(dú)特波形。

產(chǎn)品規(guī)格

能量分辨率0.3eV（Al-L 光譜圖73eV處測試）

獲取能量范圍：衍射光柵JS50XL的能區(qū)50-170eV

獲取能量范圍：衍射光柵JS50XL的能區(qū)70-210eV

分光譜儀艙安裝位置：

EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右側(cè)）

FE-SEM的WDS接口（正面左后側(cè)）

分光譜儀尺寸　W 168mm×D 348mm ×H 683mm

* 從接口包括CCD的距離

分光譜儀重量　25kg

適用機(jī)型

EPMA ： JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200

SEM ： JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F