Nano View-2400非接觸式3D輪廓儀

Nano View-2400非接觸式3D輪廓儀為LCD、IC Package、Substrate、Build-up PCB、MEMS，Engineering Surfaces等領(lǐng)域提供納米級別精度的量測.

通過非接觸式的方法對0.1nm-270nm的3維表面形貌進(jìn)行高進(jìn)度和高速測量。利用物鏡轉(zhuǎn)臺(tái)可方便的進(jìn)行放大倍數(shù)的轉(zhuǎn)換。使用拼接功能可分析寬廣的表面。

產(chǎn)品規(guī)格：

干涉物鏡：5個(gè)物鏡可選

掃描范圍：0-180um（270um，5mm可選）

垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm ，PSI ：﹤0.1nm

傾斜臺(tái)：±6°

Z軸行程：100mm（手動(dòng)）

工作臺(tái)面：100X100mm（程控)