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激光干涉儀

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詳細(xì)介紹

  角度干涉鏡放在激光頭和角度反射鏡之間的光路上。對(duì)于沿水平軸的俯仰測(cè)量,兩個(gè)光學(xué)元件都是垂直放置的,對(duì)于扭擺測(cè)量,兩個(gè)光學(xué)元件都是水平放置的。激光光束經(jīng)角度干涉鏡的分光鏡分為兩束 A1 和 A2,光束 A1 直接穿過干涉鏡并從角度反射鏡的下半部反射回激光頭;光束 A2 通過角度干涉鏡的潛望鏡射到角度反射鏡的另一半后,再通過角度干涉鏡反射回到激光頭。角度測(cè)量是通過比較 A1 和 A2 之間的光程差完成的,即角度測(cè)量與激光頭和角度反射鏡之間的距離,以及兩個(gè)光學(xué)元件之間的距離無關(guān)。

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