一.激光干涉儀概述

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號(hào)，然后通過高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)通過計(jì)算機(jī)進(jìn)行顯示和動(dòng)態(tài)分析。

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、*高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測，如可以測量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動(dòng)態(tài)參量，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有高精度和效率，而且及時(shí)處理數(shù)據(jù)，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。

二.激光干涉儀原理

中圖SJ6000激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會(huì)有一個(gè)探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時(shí)，探測器會(huì)在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。若光程差有變化時(shí)，探測器會(huì)在每一次光程變化時(shí)，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào)，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來測量兩個(gè)光程之間的差異變化。

三.激光干涉儀用途

1.激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)位置精度的理想工具。檢定時(shí)可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測量數(shù)據(jù)并打印出誤差曲線，為機(jī)床的修正提供可靠依據(jù)。

2.激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差，在現(xiàn)場使用尤為方便。

3.激光干涉儀可方便地安裝在測長機(jī)上，取代原測長機(jī)的坐標(biāo)系統(tǒng)，作為一般計(jì)量室中的長度基準(zhǔn)。

4.激光干涉儀又是一種高精度的位移傳感器，可直接安裝于坐標(biāo)鏜、螺絲磨等精密機(jī)床及坐標(biāo)測量機(jī)上作為坐標(biāo)系統(tǒng)，使定位精度大為提高。

5.激光干涉儀具有對(duì)光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測量元件的檢測和刻劃功能，儀器可按預(yù)定的間距自動(dòng)完成檢測和刻劃工作。

6.激光干涉儀與圓分度器結(jié)合使用是一套高精度長度角度比相計(jì)，可作為機(jī)床傳動(dòng)鏈，絲桿螺旋線等誤差的測量系統(tǒng)。

四.激光干涉儀維護(hù)說明

1、儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi)，防止振動(dòng)，儀器搬動(dòng) 時(shí)，應(yīng)托住底座，以防導(dǎo)軌變形。 　

2、光學(xué)零件不用時(shí)，應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi)，以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時(shí)，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和混合液輕拭。

3、傳動(dòng)部件應(yīng)有良好的潤滑。特別是導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應(yīng)用T5精密儀表油潤滑。

4、使用時(shí)，各調(diào)整部位用力要適當(dāng)，不要強(qiáng)旋、硬扳。

5、導(dǎo)軌面絲桿應(yīng)防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態(tài)。

6、 經(jīng)過精密調(diào)整的儀器部件上的螺絲，都涂有紅漆，不要擅自轉(zhuǎn)動(dòng)。

五.SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)