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日本電子JSM-7610F熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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詳細介紹

分辨率: 1.3 nm(1 kV)(在GB 模式下),1.0 nm(15 kV)
放大倍數(shù): 25 到 1,000,000x
加速電壓: 0.1 到 30 kV
束流: 1 pA 到 200 nA(15 kV時)
光闌角控制鏡: 內(nèi)置
探測器: 上方和下方探測器
能量過濾器: 新型γ過濾器
柔和光束: 內(nèi)置
數(shù)字圖像: 1,280 x 960,2,560 x 1,920, 5,120 x 3,840
樣品交換室: 單步加載/卸載
樣品臺: 全對中,5軸馬達驅(qū)動
X-Y: 70 mm x 50 mm(IA) 110 mm x 80 mm(II) 140 mm x 80 mm(III)
傾斜: -5 到 +70°
旋轉(zhuǎn): 360°
工作距離: 1.5 mm 到 25 mm
真空系統(tǒng): 2 SIPs,磁懸浮軸承 TMP、RP
節(jié)能設計: 正常運行:1.2 kVA 休眠模式:1 kVA
操作系統(tǒng)關(guān)閉(OFF):0.76 kVA

l 超高分辨像的,最大放大倍數(shù)1百萬倍

zuixin開發(fā)勵磁物極靴設計,JSM-7610F的象差小,像分辨率高,特是在低加速電壓下仍保持很高的分辨率,適合于材料表面的高分辨察,分辨率指如下:

1.0nm (二次,加速電壓15kV)

1.3nm (二次,加速電壓1kV)突出的低分辨率

l 分子統(tǒng):真空系統(tǒng)潔凈,抽氣速度快,維護簡單。

l 軸馬品臺準控制使用極方便。

l 品室:利用JSM-7610F準配置,即可行直徑最大150mm品的察;大部分操作通即可實現(xiàn)。

l 能量過濾器:可以按任意比例混合二次子和背散射像。

l 圓錐熱場發(fā)子束虛漂移小,改加述電壓無需手動調(diào)節(jié)虛漂移點。

l **光角控制透 ,束流大小完全由算機自控制。

l 離子源支持:后最可以14天,池更每年只需200元以內(nèi)。

l 良好的可操作性:控制界面設計非常友好,使用極便利。

l 多通道示:最多可以選擇四種像同時顯示,高位二次子像,低位二次子像,背散射成像和背散射拓撲像。

l 穩(wěn)定的GB模式:準配置。可以有效YZ充和提高點電壓下的分辨率。

l 微區(qū)的成份分析幾何尺寸好:配合能譜儀EDS)分析,工作距離只有8mm 取出角35度,數(shù)率是其他廠家的一倍。

l 發(fā)射體壽命: 由于采用In-Lens術(shù),我的束流度可以達到200nA,其他廠家只能做到20nA.在做成分分析,或搭EBSDWDS,分析速度和結(jié)果的精確度遠遠高于他。采用了In-Lens術(shù)和wan美的氣鎖換樣統(tǒng),我發(fā)射體質(zhì)3年,用一般使用在6年以上.

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