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感應耦合等離子刻蝕機 STS Multiplex ICP
- 品牌：STS
- 型號： Multiplex ICP
- 產地：歐洲 英國
- 供應商報價：面議
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上海邁鑄半導體科技有限公司
更新時間：2024-05-06 09:47:15 -
銷售范圍售全國
入駐年限第2年
營業(yè)執(zhí)照已審核
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詳細介紹
一、設 備 信 息 MACHINE INFORMATION
1、產品信息 Product Information: 6英寸 硅片 (MEMS Process)
2、設備重量 Unit Weight: 1200Kg
3、運行數(shù)量 Run Number: Single wafer
4、腔體配置 Chamber Configuraton∶ 1X Chamber
5、設備尺寸 Machine Size: 詳見附件 《設備機械 圖紙》See Attachment
二、硬件配置 HARDWARE CONFIGURATION
1.MAIN body lea
2, Load lock lea
3, Turbo Pump lea
4, Controller BOX lea
5. RF Generater 2ea
6. Vaccum Pump 2ea
7, Chilller 2ea
8, Gas box 1ea
三、設備方面 EQUIPMENT
1.機臺正常起輝
2.背 He流量不大于 40SCCM
3.背 He漏率不大于 30mtor/min
4. 腔體背底壓力不大于 9*e - 5 Tor
5.刻蝕速度大于 5um/min
6.刻蝕片內均一性小于+/-5%
7.選擇比 si: PR大于 100: 1；si: siO2大于 150:1
8.側壁角度 :91- 95°
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