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X射線圖

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詳細(xì)介紹

簡介

NTT的X射線圖的大特點是高耐X射線輻射性、超清晰圖案和低邊緣粗糙度。本公司基于Ta吸收體圖的SiC膜較為其精確,能為用戶的X射線分析系統(tǒng)評估提供清晰的圖像

有三種X射線圖可應(yīng)用于各種方面:標(biāo)準(zhǔn)型、高分辨率和高對比度型以及超高分辨率型??蔀橛脩舻南到y(tǒng)定制圖案布局和基板尺寸。

項目

標(biāo)準(zhǔn)型

XRESO-100

高分辨率型

帶較厚Ta

吸收體

XRESO-50HC

新??!

超高分辨率

XRESO-20

基板

材料、尺寸

Si 10 mm2

厚度

1mm

1mm

0.625mm

材料、

厚度

Ru 20 nm

SiN 2μm

Ru 20 nm

SiC 200 nm

SiN 50 nm

Ru 20 nm

SiC 200 nm

SiN 50 nm

圖案

吸收體、

厚度

Ta 1μm

Ta 500 nm

Ta 100 nm

小圖案尺寸

100 nm

50 nm

20 nm

放射形圖案

圖案區(qū)域

250μm×350μm

300μm2

300μm2



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 -  XUV / X射線相干成像

 - 超細(xì)X射線檢查


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