URE-2000/600 紫外單面光刻機

1、設備主要技術指標：

(1)光束口徑： 650mm×650mm

(2)有效曝光面積：600mm×600mm

(3)分辨力：≤3μm

(4)對準精度： ±1.5μm

(5)對準顯微鏡中點距：75mm-600mm 可調(diào)

(6)掩模尺寸：650mm×650mm

(7)樣片尺寸：可適應Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 300mm×300mm；450mm×450mm；600mm×600mm，厚度為 0.2mm～20mm 的多種規(guī)格樣片；

(8)光源不均勻性：≥ 95%（Ф600mm）

(9)掩模相對于樣片運動行程：X: ± 15mm; Y: ± 15mm; Z：15mm Thelta: ± 10o

(10)曝光面光強：>15mW/cm2（i、g、h 線）

(11)汞燈功率：2500W（直流）

(12)曝光量設定方式：定時（計時方式 0.1s-9999.9s,設定精度 0.1s）

2．技術主要組成部分

大面積精細膠模圖形結(jié)構成型機組成主要由：高均勻照明曝光系統(tǒng)、對準工件臺系統(tǒng)、CCD 對準系統(tǒng)、計算機控制系統(tǒng)、氣動控制系統(tǒng)及輔助設備構成。各系統(tǒng)構成與配置

如下:

（1）高均勻照明系統(tǒng)包括：

。 冷光橢球鏡；

。2500W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺；

。 光學系統(tǒng)：橢球反射鏡、光欄、快門、平面冷光反射鏡 1、平面冷光反射鏡 2、蠅眼透鏡組、拋物面冷光反射鏡；

。 冷卻風扇；

。 循環(huán)水冷系統(tǒng)。

（2）對準工件臺系統(tǒng)包括：

。掩模樣片相對運動臺；

。 轉(zhuǎn)動臺；

。 樣片調(diào)平機構,自動完成；

。樣片調(diào)焦機構，自動調(diào)整；

。承片臺 10 個：Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 及 300mm×300mm；450mm×450mm；600mm×600mm；

。 掩模夾 1 個：650mm×650mm；

。 抽拉式上下片機構。

（3）CCD 對準系統(tǒng)包括：

。 光源、電源；

。 顯微鏡工作臺；

。 成像光學系統(tǒng)（兩套）；

。 數(shù)據(jù)采集卡；

。 CCD 圖像處理部件（兩套）。

（4）電控系統(tǒng)包括：

。 大功率汞燈觸發(fā)電源；

。單片機控制系統(tǒng)；

。 薄膜開關面板；

。 控制柜桌；

（5）氣動系統(tǒng)包括：

。 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等；

3 。電磁閥驅(qū)動部件；

。 氣動顯示儀表。

（6）其他配套附件

。 真空泵一臺（無油泵、SK-65C 型）；

。 空壓機一臺（靜音型、YB-W30 型）；

。水冷機一臺（H35W 型）；

。 配套接口管道

3.相關技術資料：

。設備使用及維護說明書

。出廠檢驗合格證。