低溫等離子·經(jīng)典桶型。

PR500：手動(dòng)控制 PR510：自動(dòng)觸摸屏控制
內(nèi)槽
硅晶圓灰化狀態(tài)
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動(dòng)協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。
● 去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對(duì)應(yīng)
 
用途
● 大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔
● 小型一體化設(shè)計(jì)

規(guī)格：