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飛納 清潔度分析 ParticleX TC

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產(chǎn)品特點(diǎn)

飛納 Phenom ParticleX 全自動清潔度分析系統(tǒng) 以臺式掃描電鏡和能譜儀為硬件基礎(chǔ),可以全自動對顆粒或雜質(zhì)進(jìn)行快速識別、分析和分類統(tǒng)計(jì),為客戶的研發(fā)以及生產(chǎn)提供快速、準(zhǔn)確和可靠的定量數(shù)據(jù)支持。

詳細(xì)介紹

Phenom ParticleX TC

飛納 Phenom ParticleX 全自動清潔度分析系統(tǒng) 以臺式掃描電鏡和能譜儀為硬件基礎(chǔ),可以全自動對顆?;螂s質(zhì)進(jìn)行快速識別、分析和分類統(tǒng)計(jì),為客戶的研發(fā)以及生產(chǎn)提供快速、準(zhǔn)確和可靠的定量數(shù)據(jù)支持。該過程完全符合 ISO 16232 和 VDA 19 要求。

TM.jpg

?傳統(tǒng)的清潔度分析方法(重量法和光鏡法)只能提供清潔部件上大顆粒灰塵和碎片的總體重量或形狀信息,而不能全面分辨顆粒的污染源。Phenom ParticleX 取代傳統(tǒng)顆粒物清潔度檢測方法,允許工程師看見微米尺寸的顆粒并確定其化學(xué)成分,從而判斷出污染源。

借助 Phenom ParticleX 全自動清潔度分析系統(tǒng),只需一鍵,即可自動分析 4 片直徑 47mm 的濾膜,并且自動生成報(bào)告,更有效率地監(jiān)控過程清潔度。

規(guī)格參數(shù)


光學(xué)放大3 - 16 X
電子光學(xué)放大80 - 200,000 X
分辨率優(yōu)于 10 nm
數(shù)字放大Max. 12 X
光學(xué)導(dǎo)航相機(jī)彩色
加速電壓4.8 Kv - 20.5 Kv 連續(xù)可調(diào)
真空模式

高分辨率模式

降低核電效應(yīng)模式

高真空模式

探測器背散射電子探測器

二次電子探測器 (選配)

樣品尺寸最大 100 mm X 100 mm

可同時裝載 36 個 0.5 英寸樣品臺

樣品高度zui高 65 mm,樣品高度全自動調(diào)節(jié)

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