由超純水機(jī)制取二級水，并儲(chǔ)存至水箱備用，氫氣發(fā)生器缺水時(shí)，自動(dòng)供給至氫氣發(fā)生器。

CVD專用氫氣發(fā)生器主要參數(shù)及需求：
1、氫氣純度： 99.9999-99.99999%
2、氫氣流量：1L-17L/min
3、輸出壓力：0-80psi（約0.5MPa）

4、壓力穩(wěn)定性：< 0.001MPa

5、供電電源：220V±10% 50HZ
6、消耗功率：8kw(HYDROGEN-17L) 
7、純水需求：＞2MΩ&1L/h 
8、氫氣容積：＜20L(HYDROGEN-17L) 
9、環(huán)境溫度：1-40℃
10、相對濕度：<85% 
11、海拔高度：＜2000米 
12、外形尺寸：80x90x100（WxDxH cm）(HYDROGEN-17L) 
13、凈   重：約200kg(HYDROGEN-17L) 
CVD專用氫氣發(fā)生器主要特點(diǎn)：
1、儀器的全部工作過程均由程序控制，自動(dòng)恒壓、恒流，通過串聯(lián)控制線，可實(shí)現(xiàn)多組并聯(lián)使用。 
2、使用固態(tài)電解質(zhì)（PEM）法產(chǎn)生氫氣，以超純凈水原料，以固體聚合物為電解質(zhì)，貴金屬做電極有效的除濕裝置，降低了原始濕度，純度穩(wěn)定。 
3、操作方便使用時(shí)只需打開電源開關(guān)即可產(chǎn)氫，使用后無需泄壓，直接關(guān)閉電源即可?？蛇B續(xù)使用，也可間斷使用，產(chǎn)氫量穩(wěn)定不衰減。 
4、安全可靠：配有安全裝置，電解超純水制氫，無腐蝕、無污染，配有壓力控制，缺水自動(dòng)監(jiān)控，漏氣自動(dòng)檢測。 
5、配備純水系統(tǒng)，完成自來水進(jìn)水完成大流量的氫氣制備。