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緊湊四探針探頭

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詳細介紹

Jandel公司生產(chǎn)的緊湊型四探針探頭用于Veeco公司生產(chǎn)的FPP5000和FPP100設備,但是同時也適用于GRQ設備或者取代由Alessi公司生產(chǎn)的矩形探頭。

所有jandel公司生產(chǎn)的探頭具有非常高的機械精度。通過視頻檢測系統(tǒng)和光學干涉儀來驗證規(guī)范探針半徑曲率、間矩以及平面性(平面度/平整度),其負荷是通過電子測力計來驗證,并且每個探針都通過帶有寶石導向針進行上下移動。


探針間距1.00mm,1.27mm,1.591mm(針與針之間)
公差±10μm
探針排列直線或者矩形排列
探針頭碳化鎢/直徑d=0.4mm
針頭材質選擇可建議選用50%的鋨合金材質
半徑曲率12.5,25,40,100,150,200,300,500μm
緩沖區(qū)0.75mm
平面度≥±0.025(或更好)
針尖壓力10g~250g
漏電當電壓500V時,其兩針之間的其電阻為1013Ω


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