分享 收藏

全自動(dòng)顯微鏡 NX-HDM 全自動(dòng)缺陷檢測(cè)原子力顯微鏡

品牌：納騰
型號(hào)： NX-HDM
產(chǎn)地：上海徐匯區(qū)
供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議

上海納騰儀器有限公司更新時(shí)間：2025-03-17 17:30:12

銷售范圍售全國(guó)

入駐年限第10年

營(yíng)業(yè)執(zhí)照

同類產(chǎn)品原子力顯微鏡(16件)

立即掃碼咨詢

聯(lián)系方式：021-64283335

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明在儀器網(wǎng)（www.yn180.com）上看到的!

掃碼分享

為您推薦

產(chǎn)品特點(diǎn)

詳細(xì)介紹

對(duì)于工程師來說，識(shí)別介質(zhì)/平面基底的納米級(jí)缺陷的任務(wù)是一個(gè)非常耗時(shí)的過程，Park NX-HDM原子力顯微鏡系統(tǒng)可以自動(dòng)缺陷識(shí)別，通過與各種光學(xué)儀器的聯(lián)用可以提高缺陷檢測(cè)效率，越來越多的行業(yè)需要超平的介質(zhì)和基板來滿足不斷縮小的設(shè)備需求，Park NX-HDM原子力顯微鏡系統(tǒng)具有業(yè)界低0.5埃噪音，并將與其真正的非接觸式模式相結(jié)合實(shí)現(xiàn)亞埃級(jí)表面粗糙度的測(cè)試。

基本技術(shù)參數(shù)

200 mm電動(dòng)XY平臺(tái)	電動(dòng)Z平臺(tái)	噪音
行程可達(dá)150mm x 150mm, 2 μm重現(xiàn)性 0.095nm分辨率	25 mm Z行程距離 0.1μm 分辨率小于1μm 重現(xiàn)性	小于 0.5 μm/s
尺寸&重量	控制箱	設(shè)備需求環(huán)境
880（w）x 880（d）x 880（h） 620kg	600（w）x 900（d）x 1330（h） 170kg	室溫10 ℃~40 ℃ 操作18 ℃~24 ℃ 濕度 30%~60%

主要功能

1) 快速自動(dòng)缺陷檢測(cè)功能

2) 亞埃級(jí)表面粗糙度的測(cè)量

3) 有小的熱漂移，自動(dòng)分析測(cè)量的數(shù)據(jù)

4) 在線監(jiān)測(cè)測(cè)試過程，

應(yīng)用

自動(dòng)檢測(cè)缺陷

相關(guān)文獻(xiàn)

Foucher; R Therese; Y. Lee; S.-I. Park; S-J. Proc. SPIE 8681,Metrology, Inspection, and Process Control for MicrolithographyXXVII, 868106 (April 18, 2013); doi:10.1117/12.2011463