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掃描電子顯微鏡FlexSEM 1000

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詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

日立高新技術(shù)公司于2016年4月15日在全球發(fā)布了新型掃描電子顯微鏡——FlexSEM 1000。該產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小,但分辨率不輸大型電鏡,同時(shí)操作極其簡(jiǎn)便,幾乎不用培訓(xùn)就可操作。緊湊型設(shè)計(jì),分辨率為4 nm。

掃描電子顯微鏡可對(duì)材料的表面進(jìn)行高倍率觀察及高精度元素分析,在納米技術(shù)、生命科學(xué)、產(chǎn)品設(shè)計(jì)研發(fā)及失效分析等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。 近年來,掃描電鏡觀察表面精細(xì)結(jié)構(gòu)及元素分析的需求日趨增加,而越來越多的用戶希望能在生產(chǎn)線、品保檢驗(yàn)線和辦公區(qū)等有限的空間里使用掃描電子顯微鏡。因此,體積小、操作簡(jiǎn)便、分辨率高的掃描電子顯微鏡備受關(guān)注。FlexSEM 1000主機(jī)寬450mm、長(zhǎng)640mm,相比SU1510型號(hào)體積減小52%,重量減輕45%,功耗減小50%,且配備標(biāo)準(zhǔn)化的電源接口。主機(jī)與供電單元可分離,安裝非常靈活。

FlexSEM 1000采用zuixin設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和高可靠性、高靈敏度的探測(cè)器,分辨率高達(dá)4nm。FlexSEM 1000有多種自動(dòng)化功能,操作簡(jiǎn)便,即便是初次操作者也能快速拍出高質(zhì)量圖像。另外,新開發(fā)的導(dǎo)航功能「SEM MAP」可使用各種光學(xué)圖片或電鏡照片進(jìn)行導(dǎo)航,一鍵就快速jing準(zhǔn)地切換至感興趣的高倍率視野。

特點(diǎn):
a. 通過高靈敏度二次電子探測(cè)器,背散射探測(cè)器,低真空探測(cè)器(UVD*2),實(shí)現(xiàn)低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀察
b. 操作簡(jiǎn)捷,即使新手也能拍出高質(zhì)量的圖片
c. 新開發(fā)的導(dǎo)航功能「SEM MAP」,便于快速鎖定視野
d. 大窗口(30 mm2)SDD能譜系統(tǒng),便于快速分析元素成分*2
*1???? 設(shè)置在桌面時(shí),分離主機(jī)和電源箱
*2???? 選配


項(xiàng)目 內(nèi)容
分解能*3 4.0 nm @ 20 kV (SE:高真空模式)
15.0 nm @ 1 kV (SE:高真空模式)
5.0 nm @ 20 kV (BSE:低真空模式)
加速電壓 0.3 kV ~ 20 kV
放大倍率 6× ~ 300,000× (底片倍率)
16× ~ 800,000× (顯示倍率)
低真空模式 真空范圍:6 ~ 100 Pa
電子槍 預(yù)對(duì)中鎢燈絲
樣品臺(tái) 3-軸自動(dòng)馬達(dá)臺(tái)
X:0 ~ 40 mm, Y:0 ~ 50 mm, Z:5 ~ 15 mm
R:360°, T:-15° ~ +90°
最大樣品尺寸 直徑80 mm
最大樣品高度 40 mm
尺寸 主機(jī):450(W) x 640(D) x 670(H) mm
供電單元:450(W) x 640(D) x 450(H) mm
探測(cè)器選配
  • 高靈敏度低真空二次電子探測(cè)器(UVD)

  • 能量分散型X線探測(cè)器(EDS)

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注:該儀器未取得中華人民共和國(guó)醫(yī)療器械注冊(cè)證,不可用于臨床診斷或ZL等相關(guān)用途

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