低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備(LPCVD)

產(chǎn)地：韓國Ecopia；

有單管和雙管兩個(gè)不同的型號(hào)，用于科研或者小規(guī)模生產(chǎn)。

性能和特點(diǎn)：

- 溫度范圍：500 ~ 1000攝氏度；

- 氣體混合能力(帶有質(zhì)量流量計(jì))；

- 真空范圍：~ 10^-6 Torr；

典型應(yīng)用：

- 無應(yīng)力氮化硅；

- LPCVD；

- 退火；

- 氧化；

- 其他...