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HP1000V-MPS 真空高溫探針臺(tái)
- 品牌：美國(guó)INSTEC
- 產(chǎn)地：美洲 美國(guó)
- 供應(yīng)商報(bào)價(jià)：￥100000
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北京儀光科技有限公司
更新時(shí)間：2025-05-08 11:41:12 -
銷售范圍售全國(guó)
入駐年限第4年
營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品探針臺(tái)(11件)
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產(chǎn)品特點(diǎn)
- HP1000V-MPS Instec的真空高溫探針臺(tái)系列是可從外部移動(dòng) 探針進(jìn)行點(diǎn)針的桌上型探針臺(tái)，涵蓋多型號(hào)、多溫度范圍。
詳細(xì)介紹
- 產(chǎn)品簡(jiǎn)介HP1000V-MPS Instec的真空高溫探針臺(tái)系列是可從外部移動(dòng) 探針進(jìn)行點(diǎn)針的桌上型探針臺(tái)，涵蓋多型號(hào)、多溫度范圍。同時(shí)允許溫控、探針電測(cè)試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺(tái)上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè)可抽真空的密封腔，亦可內(nèi)充入氮?dú)獾缺Ｗo(hù) 氣體，來(lái)防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。功能特點(diǎn)mimi 型溫控探針臺(tái)，可集成到各種光學(xué)設(shè)備可編程控溫，涵蓋 RT~1000℃適用 10 mm ~25 mm 晶圓和器件可抽真空的腔體，亦可充入保護(hù)氣體使用獨(dú)立的四個(gè)探針，可從設(shè)備外部移動(dòng)探針進(jìn)行點(diǎn)針可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件 SDK模塊化設(shè)計(jì)，可自由組合*可升級(jí)為 8 個(gè)獨(dú)立探針*SMA 接頭轉(zhuǎn) BNC 四探針，手動(dòng)點(diǎn)針 *可選三同軸接口，用于 pA 級(jí)測(cè)試*可做定制或改動(dòng)，詳詢上海恒商溫控參數(shù)溫度范圍 30℃~1000℃加熱塊材質(zhì) 陶瓷傳感器/溫控方式 S / PID 控制（含 LVDC 降噪電源）最大升溫速率 50℃/min最小溫控速度 ±0.1℃/min溫度分辨率 0.1℃溫度穩(wěn)定性 ±0.5℃軟件功能 可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線電學(xué)參數(shù)探針 默認(rèn)為錸鎢材質(zhì)的彎針探針探針座 可從外部 XYZ 移動(dòng)的探針臂點(diǎn)針 從外部移動(dòng)點(diǎn)針，每個(gè)探針座都可點(diǎn)到樣品區(qū)上任意位置探針接口 默認(rèn)為 SMA 接頭轉(zhuǎn) BNC *可增設(shè)腔內(nèi)接線柱（樣品接電引線）樣 品 臺(tái) 面 電 位 默認(rèn)為電接地，可選電懸空（作背電極），可選 三同軸接口光學(xué)參數(shù)適用光路 反射光路窗片 可拆卸與更替的窗片最小物鏡工作距離 8/12 mm （可選） *截面圖中 WD上蓋窗片觀察 窗片范圍φ45mm，最大視角±58° *截面 圖中θ1負(fù)溫下窗片除霜 吹氣除霜管路結(jié)構(gòu)參數(shù)適用樣品 25 mm*25mm樣品腔高 4/8 mm （可選）探針座 可從外部 XYZ 移動(dòng)的探針臂 粗調(diào)模式+微調(diào)模式，XY 粗調(diào) 20mm XY 微調(diào)行程 10mm,Z 微調(diào) 3mm調(diào)節(jié)精度 10um氣氛控制 真空腔，也可充入保護(hù)氣體外殼冷卻 可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近臺(tái)體尺寸/重量 300 mm x 300 mm x 40 mm / 5kg配置列表基本配置 真空型臺(tái)式探針臺(tái)、mK2000B 溫控器可選配件 安裝支架、液氮制冷系統(tǒng)、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、顯 微鏡頭、防震桌、真空系統(tǒng)、測(cè)試源表、三同軸 BNC、 臺(tái)面電懸空、樣品接電引線
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