儀器簡(jiǎn)介：

 德國(guó)Klocke Nanotechnik公司生產(chǎn)的納米級(jí)三維測(cè)量?jī)x(3D Nanofinger)俗稱納米三坐標(biāo)，是一種實(shí)用的納米精度坐標(biāo)和形貌綜合測(cè)量設(shè)備。由臺(tái)架、控制系統(tǒng)、探頭、針尖組成. 可測(cè)量樣品外形尺寸，表面輪廓、粗糙度等，并可與超精密微加工、微組裝系統(tǒng)組合，進(jìn)行在線檢測(cè)、質(zhì)量控制等。系統(tǒng)擁有5個(gè)自由度，可以根據(jù)樣品設(shè)定測(cè)量路徑，測(cè)量范圍達(dá)到厘米級(jí)甚至更大?，F(xiàn)已廣泛應(yīng)用于超精密機(jī)械加工、MEMS器件、半導(dǎo)體微電子加工、光學(xué)、分子生物學(xué)和精密工程。

技術(shù)參數(shù)：

設(shè)備主要參數(shù)：

測(cè)量范圍:
X = 10, 20 or 50 mm
Y = 10, 20 or 50 mm
Z = 10 or 20 mm
采用花崗巖基底，XY方向行程擴(kuò)展為： 100 x 100 mm2 or 350 x 350 mm2

測(cè)量特性：
運(yùn)動(dòng)分辨率： 1 nm
針尖分辨率： 0.5 nm
水平與豎直方向均配有操縱傳感器
線形輪廓測(cè)量
樣品內(nèi)部與外部輪廓測(cè)量
坐標(biāo)測(cè)量功能


測(cè)量用探針:
針尖型金屬絲, 半徑 < 100 nm
鉤型金屬絲, 半徑< 100 nm
圓形針尖, 直徑 0.12-0.3 mm
金剛石針尖, 如用于表面壓痕


軟件：
針尖自動(dòng)校準(zhǔn)與逼近
2D 和 3D 圖形功能
分析軟件
自動(dòng)化模塊選項(xiàng)（序列發(fā)生器）

可選擇的配置:
小型花崗巖平臺(tái)式3D-Nanofinger
便攜式3D-Nanofinger
3D-Nanofinger 模塊，如集成到CNC機(jī)床內(nèi)部
適合電鏡中安裝的3D-Nanofinger 模塊
可安裝到多功能檢測(cè)工作臺(tái)中


附件:
納米精度自動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)
攝像機(jī)
圖形識(shí)別系統(tǒng)

主要特點(diǎn)：

1.納米精度測(cè)量，而且是三維方向都可保持統(tǒng)一的精度。
2.測(cè)量量程跨越納米到厘米,甚至分米級(jí)。
3.多功能多參數(shù)測(cè)量設(shè)備，可以涵蓋三坐標(biāo)、輪廓儀、形貌儀、粗糙度儀等的功能。
4.用戶可以設(shè)定測(cè)量路徑，這樣就能沿著樣品形狀進(jìn)行測(cè)量。適合復(fù)雜輪廓測(cè)試。
5.配合多種不同功能的探針，可以完成一般輪廓儀無法進(jìn)行的結(jié)構(gòu)測(cè)量。特別是結(jié)構(gòu)內(nèi)部。
6.用戶可以根據(jù)需要靈活設(shè)置測(cè)量方法，可以進(jìn)行大面積精確測(cè)量，也可以先進(jìn)行大面積低精測(cè)量，然后對(duì)特定感興趣的區(qū)域進(jìn)行高精測(cè)量，以節(jié)省時(shí)間。
7.整個(gè)過程非接觸的，間距可以保持在可以設(shè)定為幾個(gè)納米。適合各種固態(tài)樣品測(cè)量，對(duì)材料性質(zhì)沒有特別要求和限制。
8.布局靈活，根據(jù)用戶測(cè)試要求組成合適的系統(tǒng)。平臺(tái)可以任意組合，探頭也以改變安裝方向。
9.如果和微加工設(shè)備組合，可以實(shí)現(xiàn)在線測(cè)量。