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Diener FEMTO 微波等離子清洗機

品牌：Diener
型號： FEMTO
產(chǎn)地：歐洲德國
供應(yīng)商報價：€5000

上海爾迪儀器科技有限公司更新時間：2025-04-27 09:03:25

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品真空等離子清洗機(11件)

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詳細介紹

德國Diener electronic成立于1993年，是世界低溫等離子工業(yè)的，是一家專門研發(fā)和制造低溫低壓等離子清洗機、等離子射頻電源和大氣（常壓）等離子清洗機的高科技企業(yè)。
用途：
Diener等離子清洗機可用于清洗、刻蝕、磨砂和表面準備等?？蛇x擇40KHz、13.56MHz和2.45GHz三種射頻發(fā)生器，以適應(yīng)不同的清洗效率和清洗效果需要。
Diener等離子清洗/刻蝕機具有成本低廉、操作靈活的特點，主要適合于高科技生產(chǎn)單位的以下場合：
半導(dǎo)體開發(fā)、集成電路開發(fā)、真空電子行業(yè)、生命科學(xué)實驗等等。
Diener等離子清洗/刻蝕機具有以下特點：
可以更靈活地操作，簡便地改變處理氣體的種類和處理程序；不會對操作人員的身體造成任何傷害；其成本對于等離子處理方法來說是微不足道的。

Femto A.jpg

Femto A

Femto C.jpg

Femto C

Femto D.jpg

Femto D

Femto B.jpg

Femto B

Femto E.jpg

Femto E

應(yīng)用：
表面清潔
(e.g. before bonding, soldering or gluing)
表面活化
(e.g. before printing, varnishing or gluing)
表面蝕刻
(e.g. microstructuring of silicon or etching of PTFE)
表面涂層
(e.g. deposition of hydrophobic / hydrophilic layers)

應(yīng)用領(lǐng)域：

REM, TEM	考古	汽車制造業(yè)	橡膠制造業(yè)
微機械制造	傳感器檢測	滅菌	紡織業(yè)
醫(yī)療器械制造業(yè)	塑料制造業(yè)	研發(fā)部門	電子半導(dǎo)體行業(yè)

規(guī)格、參數(shù)：

系列	Femto
控制系統(tǒng)	半自動型 PCCE 控制系統(tǒng) (MicrosoftWindows CE) PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009)
體積	1.9~6L
真空腔室	圓形不銹鋼件，配有蓋子（大約 Φ 100 mm, 長 278 mm 或者長 600 mm）矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門（約寬 103 x 深 285 x 高 103) 配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門（大約Φ 95 mm, 長 280 mm 或者長 600 mm）配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門（大約 Φ 95 mm, 長 280 mm 或者長 600 mm）配有蓋子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有鉸鏈的門（大約Φ 95 mm，長 280 mm 或者長 600 mm）
電極	單層或多層 RIE
樣品支架	（選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃
氣源	針型閥質(zhì)量流量控制器 (MFCs)
壓力計	Pirani Baratron（適用于腐蝕性氣體版本）
計時器	數(shù)字型
高頻電流發(fā)生器	40 kHz: 功率 0 - 100 W；0 - 1000 W 13.56 MHz；功率 0 - 50 W；0 - 300 W 12.45 GHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W 所有發(fā)生器均為 0 - 100% 無級可調(diào)型
真空泵	KASHIYAMA
電源	供電電源：臺式設(shè)備為 230 V，立式設(shè)備為 400 V/3 相位