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Plasma Stripper (Asher) 等離子去膠機
- 品牌：牛津儀器
- 型號： Plasma Stripper
- 產(chǎn)地：歐洲 英國
- 供應商報價：面議
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深圳市藍星宇電子科技有限公司
更新時間：2025-06-14 12:51:26 -
銷售范圍售全國
入駐年限第7年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品英國Oxford 離子刻蝕/沉積/去膠機(17件)
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產(chǎn)品特點
- 開放式設計，可快速加載和卸載晶圓；
基片放置在石英上，以避免濺射/再沉積電極材料；
通過頂部電極上的“蓮蓬頭”進氣口將氣體注入工藝室。 詳細介紹
應用:從蝕刻晶圓片上移除光刻膠
流程配置: RIE/ICP
工作原理
。使用等離子體源，生成單原子反應種。
。氧是最常見的反應物質(zhì)。反應性物質(zhì)與光阻結(jié)合形成灰，
。用真空泵將其除去。
。ICP結(jié)構避免了高能離子轟擊和電容耦合，
。提供低襯底損傷。
可用氣體: O2， N2O
主要性能:
。開放式設計，可快速加載和卸載晶圓。
?；胖迷谑⑸希员苊鉃R射/再沉積電極材料
。通過頂部電極上的“蓮蓬頭”進氣口將氣體注入工藝室
。電感耦合等離子體(ICP)和電極的獨立射頻發(fā)生器提供對離子能量和離子密度的獨立控制
。高電導泵浦端口提供高的氣體吞吐量，以最快的腐蝕速率
。使用等離子體源，生成單原子反應種。氧是最常見的反應物質(zhì)。
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號