儀器簡介：
本儀器主要適用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導(dǎo)電膜（金膜），儀器操作簡單方便，是配合中小型掃描電子顯微鏡制樣必備的儀器。
技術(shù)指標：
玻璃處理室：∮100毫米，高度130毫米
試樣臺尺寸：∮40毫米可同時放6個樣品杯
金靶尺寸：∮58毫米
真空系統(tǒng)：直聯(lián)旋片真空泵1升/秒
真空檢測：皮氏計
真空保護：20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空
工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣專用進氣口和微量充氣調(diào)節(jié)
可以濺射鐵、鈷、鉺