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桌面型紫外曝光機UV-KUB 2

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產(chǎn)品特點

UV-KUB 2是一款基于UV-LED技術的小型多功能曝光光刻設備,廣泛地應用于高校、研究所以及企業(yè)研發(fā)機構(gòu)的MEMS實驗室、微流控實驗室、光電實驗室以及生物技術實驗室等,其具有下列特點:
-低成本,結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小;
-LED單色光全幅面曝光,均勻性好,效率高;
-使用UV-LED 冷光源,實時對溫度控制減小溫差對材料的影響;
-光源壽命超過10000小時;
-開機后無需預熱;
-可實現(xiàn)垂直溝槽的制作,發(fā)散角< 2°;
-觸摸屏操作,簡單易行。

詳細介紹

UV-KUB 2是一款基于UV-LED技術的小型多功能曝光光刻設備,廣泛地應用于高校、研究所以及企業(yè)研發(fā)機構(gòu)的MEMS實驗室、微流控實驗室、光電實驗室以及生物技術實驗室等。

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主要優(yōu)勢

  • 低成本,結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積?。?/p>

  • LED單色光全幅面曝光,均勻性好,效率高;

  • 使用UV-LED 冷光源,實時對溫度控制減小溫差對材料的影響;

  • 光源壽命超過10000小時;

  • 開機后無需預熱;

  • 可實現(xiàn)垂直溝槽的制作,發(fā)散角< 2°;

  • 觸摸屏操作,簡單易行。

規(guī)格參數(shù)
曝光面積4英寸
分辨率2um
曝光波長365 nm / 385 nm / 405nm
全幅面照明能量密度25 mW / cm2 ± 10 % 
曝光溫度變化小于1度
曝光時間(連續(xù)或非連續(xù))1秒至18小時定時
外形尺寸260 x 260 x 260 mm3 
觸摸屏尺寸5.7英寸
整機能耗180W


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