1. 捕捉任意表面形狀。
	2. 快速獲得可靠數(shù)據(jù)。
	3. 操作簡(jiǎn)單— 只需放置樣 品并按一下按鈕即可。
	4.測(cè)量具有挑戰(zhàn)性的樣品

優(yōu)異的平面分辨率

LEXT OLS5000 3D測(cè)量激光顯微鏡配備的兩套光學(xué)系統(tǒng)（彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和激光共焦光學(xué)系統(tǒng)）讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。405nm紫色激光和專用高數(shù)值孔徑物鏡可以捕

捉到傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡、白光干涉儀或紅色激光顯微鏡無法發(fā)現(xiàn)的精細(xì)紋理和缺陷。

專用LEXT物鏡

我們的專用LEXT物鏡系列近期新增了提升測(cè)量性能的長(zhǎng)工作距離物鏡和普通工作距離的10倍物鏡。所有專用LEXT物鏡的測(cè)量性能均可獲得保證。

4K掃描技術(shù)—檢測(cè)陡峭斜面和近納米級(jí)臺(tái)階的形貌

4K 掃描技術(shù)可在X軸方向掃描4096像素，是傳統(tǒng)機(jī)型的四倍。由此提高了高度測(cè)量的可靠性，改善了分辨率，信噪比提升了兩倍。OLS5000顯微鏡無需圖像處理就能檢測(cè)幾乎垂直的陡峭斜面和極低的臺(tái)階。

                                                        可準(zhǔn)確測(cè)量高達(dá)87.5° 的大角度斜面。

快速、精確的測(cè)量——PEAK算法

OLS5000 顯微鏡采用了用于 3D 數(shù)據(jù)構(gòu)建的 PEAK 算法。該算法可獲得從低倍率到高倍率的高精度數(shù)據(jù)，并可縮短數(shù)據(jù)采集時(shí)間。

VLSI 標(biāo)準(zhǔn)樣品/ 80nm臺(tái)階 (MPLFLN10XLEXT) 

簡(jiǎn)單分析

簡(jiǎn)單分析功能可僅在指定測(cè)量范圍內(nèi)測(cè)量臺(tái)階、線寬、表面粗糙度和體積。自動(dòng)檢測(cè)測(cè)量結(jié)果變動(dòng)的原因（如體積分析中參考平面的邊緣位置和閾值）讓測(cè)量結(jié)果保持穩(wěn)定，不受操作員技能水平的影響。

擴(kuò)展架—可檢測(cè)最大210毫米高度的樣品

載物臺(tái)上可放置最大高度210毫米的樣品。重復(fù)性和準(zhǔn)確性等測(cè)量性能均確保與標(biāo)準(zhǔn)機(jī)臺(tái)相同。