型號(hào)：SD-650MH

品牌：北京博遠(yuǎn)微納科技有限公司                                                    

▲類(lèi)型：桌面型                                                             

儀器主機(jī)尺寸: 長(zhǎng)610mm×寬420mm×高220mm（注：含腔體總高490mm）          

★定制話(huà)真空工作腔室接口。金屬腔體：直徑260mm×高270mm（外尺寸 ）                        

                                    直徑210mm×高270mm（內(nèi)尺寸）                    

靶頭：磁控雙靶，磁控靶配有擋板結(jié)構(gòu)?？蔀R射儀強(qiáng)磁性材料。                                 

靶頭工作方式：各靶可獨(dú)立/共同工作，采用磁控靶從上向下濺射鍍膜；                                                 

靶材尺寸：直徑50mm                                                      

靶材料： 標(biāo)配二塊直徑50mm×3mm的銅靶                                  

真空系統(tǒng)：分子泵+直聯(lián)高速旋片式真空泵，抗沖擊渦輪分子泵，抽速為 300L/s                       

前級(jí)機(jī)械泵：抽速為 4L/s，帶防返油電磁閥及油污過(guò)濾器 .                   

真空測(cè)量：采用復(fù)合真空計(jì)監(jiān)測(cè)真空                                            

極限真空度: 5×10-5Pa                                                     

▲電氣柜：標(biāo)配直流恒流電源：輸入電壓：220V 輸出電壓：0-600v                                   輸出電流：0-1.6A                                      

            射頻功率電源：功率300W，配射頻匹配器。                  

★載樣臺(tái)：定制化樣品臺(tái)，可適用于特殊樣品                                         

工作氣體： Ar等惰性氣體（需自備氣瓶及減壓閥）                                     

▲氣路：氣路可以通過(guò)電磁流量閥觸摸屏與手動(dòng)閥聯(lián)動(dòng)控制             

水冷： 自循環(huán)冷卻水機(jī)                                                                     

電源電壓：380V/220V                                          

★控制方式：配置VPI定制化液晶控制系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)雙屏分控?？芍悄芸刂葡到y(tǒng)操作，控制電流電壓等。

啟動(dòng)功率 ：3KW                                                       

★膜厚儀:液晶觸摸屏膜厚儀可選擇各靶材定制系數(shù)、密度，預(yù)置257種鍍膜材料，可新增自定義材料          

可鍍：鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等