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EVG610 BA晶圓對準設(shè)備
- 品牌：EVG
- 型號： EVG610
- 產(chǎn)地：歐洲 奧地利
- 供應(yīng)商報價：面議
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岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司
更新時間：2024-08-07 14:35:12 -
銷售范圍售全國
入駐年限第7年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品對準設(shè)備(1件)
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為您推薦
產(chǎn)品特點
- 晶圓缺陷檢測設(shè)備專為晶圓與晶圓對準設(shè)計，晶圓尺寸大可達150 mm。EV Group鍵合對準系統(tǒng)提供手動高精度帶有底部顯微鏡的校準臺。EVG的鍵合對準系統(tǒng)的精度能滿足MEMS生產(chǎn)和3D集成應(yīng)用等新興領(lǐng)域中苛刻的對準要求。
詳細介紹
- 晶圓缺陷檢測設(shè)備用于晶圓到晶圓對準的手動鍵合對準系統(tǒng)，適用于學校和工業(yè)研究。一、簡介
EVG610鍵合對準系統(tǒng)專為晶圓與晶圓對準設(shè)計，晶圓尺寸zui大可達150 mm。EV Group鍵合對準系統(tǒng)提供手動高精度帶有底部顯微鏡的校準臺。EVG的鍵合對準系統(tǒng)的精度能滿足MEMS生產(chǎn)和3D集成應(yīng)用等新興領(lǐng)域中苛刻的對準要求。
二、特征
zui適用于EVG501和EVG510鍵合系統(tǒng)晶圓和基板尺寸可達150/200 mm手動高精度對準手動底側(cè)顯微鏡基于Windows系統(tǒng)的用戶界面*的多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶，各種訪問權(quán)限，不同的用戶界面語言)桌面系統(tǒng)設(shè)計，占地面積zui小支持IR對準過程研發(fā)和試生產(chǎn)線的zui低的擁有成本(TCO)
?三、技術(shù)參數(shù)1.基本配置：臺式機架：可選隔振模式：被動2.對準方式：背部對住精度：±2μm 3 σ透射對準精度：±1μm 3 σ紅外對準：可選3.對準臺：高精度測微計：手動可選：機械測微計楔形補償：自動
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號