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美國(guó)Lake Shore CRX-4K無液氦低溫探針臺(tái)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

CRX-4K是Lake Shore公司推出的一款多功能、高性能設(shè)計(jì)的無液氦閉循環(huán)低溫探針臺(tái)。該系統(tǒng)兼顧了無液氦操作的便利性和Lake Shore產(chǎn)品卓越的測(cè)量性能。它使用獨(dú)立的閉循環(huán)制冷機(jī),開機(jī)后可在無人協(xié)助的情況下冷卻至低溫。CRX-4K多樣的選件和配置可使研究者完成精確的、富有挑戰(zhàn)性的測(cè)量。此款探針臺(tái)可提供的Z低溫度為4.5K,探針臺(tái)內(nèi)多個(gè)溫度計(jì)的安裝可確保準(zhǔn)確和重復(fù)的測(cè)量。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹:

CRX-4K是Lake Shore公司推出的一款多功能、高性能設(shè)計(jì)的無液氦閉循環(huán)低溫探針臺(tái)。該系統(tǒng)兼顧了無液氦操作的便利性和Lake Shore產(chǎn)品卓 越的測(cè)量性能。它使用獨(dú)立的閉循環(huán)制冷機(jī),開機(jī)后可在無人協(xié)助的情況下冷卻至低溫。CRX-4K多樣的選件和配置可使研究者完成精確的、富有挑戰(zhàn)性的測(cè)量。此款探針臺(tái)可提供的最 低溫度為4.5K,探針臺(tái)內(nèi)多個(gè)溫度計(jì)的安裝可確保準(zhǔn)確和重復(fù)的測(cè)量。雙級(jí)閉循環(huán)制冷機(jī)允許樣品在冷卻過程中保持在較高溫度,降低了樣品冷凝的可能性,這是測(cè)量有機(jī)材料的關(guān)鍵要求。CRX-4K 可定制容納直徑達(dá)102 毫米(4 英寸)的晶圓片,并有直徑 51 毫米(2 英寸)的探測(cè)區(qū)域。


主要特征

√  溫度范圍4.5 K~350 K

√  可選高溫至675 K

√  無液氦低溫操作

√  降溫中盡可能減少樣品冷凝

√  標(biāo)準(zhǔn)2英寸(51 mm)樣品,4英寸(102mm)可選

√  環(huán)形磁場(chǎng)選件最 大0.19T


設(shè)備參數(shù)

主要參數(shù)及描述

溫度范圍


安裝2個(gè)探針臂

基礎(chǔ)溫度4.5 K,控制范圍5 K ~ 350 K

安裝4個(gè)探針臂

基礎(chǔ)溫度5.5 K,控制范圍6 K ~ 350 K

安裝6個(gè)探針臂

基礎(chǔ)溫度6.0 K,控制范圍6.5 K ~ 350 K

安裝PS-HTSTAGE選件(與樣品背面偏壓不兼容)

基礎(chǔ)溫度20 K,控制范圍20 K ~ 675 K

溫度穩(wěn)定性


基礎(chǔ)溫度 (無加熱控制)

未說明

<10 K

±50 mK

10 K ~ 100 K

±10 mK

101 K ~ 250 K

±10 mK

251 K ~ 350 K

±20 mK

351 K ~ 675 K

±50 mK

真空

以TPS-FRG分子泵組為標(biāo)準(zhǔn)

抽真空時(shí)間

30 min (<1×10-3 Torr)

室溫

<5 × 10-4 Torr

基礎(chǔ)溫度

<1 × 10-5 Torr

最 高溫度

<1 × 10-5 Torr

循環(huán)時(shí)間


總循環(huán)

4 h

抽真空

0.5 h

探針臺(tái)冷卻

2 h

探針臺(tái)升溫

1.5 h

樣品


最 大尺寸

51 mm(2英寸)

樣品背光接口

不可選

樣品旋轉(zhuǎn)

不可選

樣品振動(dòng)

<1 μm

探針配置


最 大探針數(shù)

6

探針臂溫度計(jì)

用于監(jiān)視探針臂的溫度

冷卻探針支架

<20 K(樣品在基礎(chǔ)溫度下)

探針支架

連接樣品臺(tái)熱沉

探針臂支架

連接防輻射屏熱沉

DC/RF探針

電絕緣>100GΩ用于低漏電流測(cè)量

微波探針

頻率范圍從DC到67GHz

光纖探針

可用于電光測(cè)量

落針范圍

所有探針均可在直徑為 25.4 毫米(1 英寸)的圓內(nèi)落針


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