類型

工作頭

控制器

VR-6000

觀察視野

低倍（大視野）

15 英寸顯示器上的倍率 12×

橫向

24.0 mm

縱向

18.0 mm

15 英寸顯示器上的倍率 25×

橫向

12.0 mm

縱向

9.0 mm

15 英寸顯示器上的倍率 38×

橫向

8.0 mm

縱向

6.0 mm

15 英寸顯示器上的倍率 50×

橫向

縱向

4.5 mm

高倍（高分辨率）

15 英寸顯示器上的倍率 40×

橫向

7.6 mm

縱向

5.7 mm

15 英寸顯示器上的倍率 80×

橫向

3.8 mm

縱向

2.9 mm

15 英寸顯示器上的倍率 120×

橫向

2.5 mm

縱向

1.9 mm

15 英寸顯示器上的倍率 160×

橫向

縱向

1.4 mm

變焦

1 至4 倍

高度測(cè)量

顯示分辨率

0.1 μm

高度測(cè)量 范圍

無(wú)Z 連接

低倍（大視野）: 10 mm
高倍（高分辨率）: 1 mm

有Z 連接

低倍（大視野）: 50 mm
高倍（高分辨率）: 30 mm

重復(fù)精度 σ

無(wú)Z 連接

0.4 μm *1

有Z 連接

1.0 μm *1

正確性

無(wú)Z 連接

±2.5 μm *1

有Z 連接

±4.0 μm *1

寬度測(cè)量

重復(fù)精度σ

低倍（大視野）: 1 μm
高倍（高分辨率）: 0.5 μm
*1

正確性

低倍（大視野）: ±5 μm
高倍（高分辨率）: ±2 μm
*1

圖像拼接功能

全自動(dòng)測(cè)量（XY 自動(dòng)控制+Z 自動(dòng)控制、θ 自動(dòng)控制）、自動(dòng)創(chuàng)建MAP 圖像、自動(dòng)設(shè)定區(qū)域 *2

圖像拼接功能

電動(dòng)旋轉(zhuǎn)單元

支持 *2

XY 可測(cè)量范圍

300 × 150 mm *2

載物臺(tái)

XY 行程

278 × 134 mm（電動(dòng)）

Z 行程

69 mm（電動(dòng)）

承受負(fù)重

4.5 kg

動(dòng)作距離

75 mm

拍攝元件

1 英寸400 萬(wàn)像素單色CMOS

投光鏡頭

雙遠(yuǎn)心鏡頭×2

受光鏡頭

雙遠(yuǎn)心鏡頭

照明系統(tǒng)

觀察用光源

LED 環(huán)形照明（紅、藍(lán)、綠）

測(cè)量用光源

白色LED

數(shù)據(jù)處理部

基恩士指定專用電腦（操作系統(tǒng)為Windows 10 Pro）

電源

電源電壓

AC100 ～ 240 V ±10％ 50/60 Hz

消耗功率

200 VA 以下

環(huán)境抗耐性

環(huán)境溫度

＋ 15 ～ 30℃

相對(duì)濕度

20 至80%RH（無(wú)凝結(jié)）

重量

約28 kg *3