Horiba 相位調(diào)制型橢圓偏振光譜儀 UVISEL Plus

基于新式的電子設備，數(shù)據(jù)處理和高速單色儀，F(xiàn)astAcqTM技術能夠為用戶提供高分辨及快速的數(shù)據(jù)采集，雙單色儀系統(tǒng)可達到0.1-2 nm。

AutoSoft軟件界面以工作流程直觀為特點，使得數(shù)據(jù)采集分析更加簡便，易于非專業(yè)人員上手操作。

速度提升1.5倍

UVISEL Plus集成了全新的FastAcqTM快速采集技術，可在3分鐘以內(nèi)實現(xiàn)高分辨的樣品測試（190-2100 nm），校準僅需幾分鐘。

靈敏度提升2倍

基于25年經(jīng)驗，UVISEL Plus相位調(diào)制橢偏儀提供純正有效的偏振調(diào)制，可用于各種樣品的精確測量，全新的FastAcqTM速采集技術使得測試靈敏度提高至原有的兩倍，從而能獲得面薄膜和納米級低襯度襯底樣品的更多信息。

靈活拓展

UVISEL Plus橢偏儀模塊化設計，可靈活拓展，以適應的應用及預算需求。相較于其他供應商，UVISEL Plus統(tǒng)的可升級性能將更好的滿足您未來的應用需求。

優(yōu)秀的性能

UVISEL Plus基于相位調(diào)制技術，相位調(diào)制與高質量消色差光學設計的特有結合提供了無可匹的膜厚測試效果。

?信號采集過程無移動部件

?光路中無增加元件

?高頻調(diào)制 50 kHz

?測試全范圍的橢偏角，Ψ (0-90，Δ (0-360)

規(guī)格