德國SENTECH 等離子刻蝕機

• 德國 Sentech 等離子刻蝕機 SI 591， 所有材料的蝕刻，金屬濺射，亞微米蝕刻

• 詳細介紹

• 德國 Sentech 等離子刻蝕機 SI 591

  
  

  主要特點

  ? 負載鎖

  ? 最大 8 英寸晶圓

  ? 緊湊的設計

  ? 占地面積小

  
  

  應用特點

  ? 所有材料的蝕刻

  ? 金屬濺射

  ? 亞微米蝕刻

  
  

  技術特點

  ? 600 瓦，13.56 MHz

  ? 360 升/秒渦輪分子泵

  ? 旋轉(zhuǎn)前級泵

  ? 負載鎖

  ? 集成氣箱

  ? 多達 12 條燃氣管線

  ? 最 大 8 英寸晶圓

  ? 設計緊湊，占地面積小