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尼康光刻機 NSR-i12, NSR-1755G7,NSR-1755i7B,步進(jìn)式投影光刻機
- 品牌：日本尼康
- 型號： NSR-i12, NSR-1755G7,NSR-
- 產(chǎn)地：亞洲 日本
- 供應(yīng)商報價：面議
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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司
更新時間：2025-06-14 12:51:26 -
銷售范圍售全國
入駐年限第7年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品日本Nikon 步進(jìn)光刻機(10件)
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產(chǎn)品特點
- 尼康光刻機 NSR-i12, NSR-1755G7,NSR-1755i7B,步進(jìn)式投影光刻機，NSR 204,NSR 204B, NSR 1505 G6E.
詳細(xì)介紹
Nikon 步進(jìn)光刻機及幾種研發(fā)常用試驗機型資料
I線步進(jìn)式光刻機 / I-line stepper
型號：Nikon NSR-I12
技術(shù)指標(biāo)及功能
廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)線，是6英寸，8英寸等主力I線生產(chǎn)機臺，適用于I線光刻膠的曝光，操作簡單，曝光精度準(zhǔn)，解析力最高可達(dá)0.35UM （350NM）
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Nikon G-line步進(jìn)光刻機
規(guī)格型號：Nikon NSR-1755G7
技術(shù)指標(biāo)及功能
適用于分辨率不低于0.65μm的大規(guī)模集成電路工藝器件量產(chǎn)的G-line步進(jìn)式光刻機。
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Nikon NSR 1755i7B 6英寸分步重復(fù)光刻機
技術(shù)指標(biāo)及功能
把掩膜版上的圖形按照一定的比例縮小復(fù)制到涂布有光刻膠的晶圓上，分區(qū)域進(jìn)行步進(jìn)式曝光。本機臺可用于125mm×125mm掩模和φ100mm及150mm的晶圓高精度投影曝光，曝光精度可達(dá)500nm。
基本指標(biāo)1. RESOLUTION：0.5μm
2. LENS DISTORTION：≤0.9μm
3. RETICLE ALIGNMENT ACCURACY：≤0.02μm
4. STEPPING ACCURACY：≤0.08μm
5. OVERLAY ACCURACY：≤0.15μm(X,Y)
6. OPEN FLAME(MAX. EXPOSURE AREA)：17.5×17.5mm---------------------------------------------------------------------
步進(jìn)式投影光刻機
分辨率:0.35μm， 套刻精度:< 75nm, 十字線對準(zhǔn):5:1 ， 150毫米* 150毫米
Resolution：0.35μm, overlay accuracy：<75nm Reticle：5:1 150mm*150
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號