
橢偏儀/橢圓偏振儀
是一種用于探測(cè)薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。由于測(cè)量精度高,適用于超薄膜,與樣品非接觸,對(duì)樣品沒有破壞且不需要真空,使得橢偏儀成為一種極具吸引力的測(cè)量?jī)x器?,F(xiàn)在已被廣泛應(yīng)用于材料、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域的研究、開發(fā)和制造過程中。可測(cè)材料:半導(dǎo)體、介電材料、有機(jī)高分子聚合物、金屬氧化物、多層膜物質(zhì)和石墨烯等等。
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