力敏傳感器
是用來檢測氣體、固體、液體等物質(zhì)間相互作用力的傳感器。常用材料有半導(dǎo)體、金屬及合成材料。主要是硅壓阻式力敏傳感器和電容式力敏傳感器。硅壓力傳感器優(yōu)點是：靈敏度好、精度高、缺點是受溫度影響大。是將應(yīng)力、壓力等力學量轉(zhuǎn)換成電信號的轉(zhuǎn)換器件。力敏傳感器有電阻式、電容式、電感式、壓電式和電流式等多種形式。
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