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真空快速退火爐/德國Unitemp/VPO-300
- 品牌：德國Unitemp
- 型號： VPO-300
- 產(chǎn)地：歐洲 德國
- 供應商報價：￥680000
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昱臣半導體技術(shù)（香港）有限公司
更新時間：2025-03-15 13:55:06 -
銷售范圍
入駐年限第1年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品德國Unitemp(3件)
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12寸快速退火爐/高真空快速退火爐
快速退火爐(RTP/RTA)是半導體材料和器件常用的一款工藝設備?？焖偻嘶馉t可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。
詳細介紹
快速退火爐(RTP/RTA)是半導體材料和器件常用的一款工藝設備。快速退火爐可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。
VPO-300是一款很有特點的快速退火爐，有非常大的退火空間，適合大尺寸樣品的熱處理。
儀器特點：
- 快速熱處理、快速熱退火 RTP / RTA；
- 可在真空、甚至于高真空環(huán)境使用；
- 加熱區(qū)域尺寸：300毫米 X 300毫米；
- 廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝，如156mm X 156mm電池片，300mm X 300mm電池片等；
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號